性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 自平衡螺杆, 出色的运行品质, 集成罗茨泵, 非常适用于冷原子层沉积工艺, load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积, 快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
高效: 拥有成本低, 维护少, 保养间隔长, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
干式螺杆真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G
簡介
性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 自平衡螺杆, 出色的运行品质, 集成罗茨泵, 非常适用于冷原子层沉积工艺, load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积, 快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
高效: 拥有成本低, 维护少, 保养间隔长, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
上海伯东代理 Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G, 抽速 550至 1200 m³/h, 极限压力 0.003 hPa, 适用于轻型到中型半导体应用, 冷原子层沉积工艺, load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积, 快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 特点
性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 自平衡螺杆, 出色的运行品质, 集成罗茨泵, 非常适用于冷原子层沉积工艺, load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积, 快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
高效: 拥有成本低, 维护少, 保养间隔长, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 规格
|
技术参数 |
COBRA BC 0601 G |
COBRA BC 1001 G |
COBRA BC 1200 A |
|
额定抽速 |
550 m³/h |
870 m³/h |
1200 m³/h |
|
极限压力 |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
|
前级泵电机额定功率 |
1.5 kW |
1.5 kW |
1.5 kW |
|
罗茨真空泵电机额定功率 |
1.5 kW |
2.9 kW |
4.0 kW |
|
功耗（怠速模式） |
1.7 kW |
1.2 kW |
1.3 kW |
|
极限压力时的功耗 |
1.7 kW |
1.7 kW |
1.9 kW |
|
前级泵电机额定转速 |
3000 min⁻¹ |
3000 min⁻¹ |
3000 min⁻¹ |
|
罗茨真空泵电机额定转速 |
3000 min⁻¹ |
5400 min⁻¹ |
5400 min⁻¹ |
|
噪声级（ISO 2151） |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
|
耗水量 |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 4,0 – 5,0 l/min |
|
氮气消耗量 |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
|
重量（约） |
315 kg |
310 kg |
360 kg |
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尺寸（L x W x H） |
905 x 354 x 660 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
|
进气口 |
DN 63 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 160 ISO-K |
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排气口 |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 应用
沼气处理: 升级 - 变压吸附
半导体生产: 中型
太阳能发电行业: 物理气相沉积 PVD
不同行业和应用有不同的真空需求, 上海伯东是一家不仅销售各类高端精密仪器设备的公司, 更是针对不同的客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新项目应用的公司!
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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