性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 荣获专利的自平衡螺杆, 出色的运行品质, 非常适用于 load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效: 智能变速驱动装置, 拥有成本低, 维护少, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 集成控制面板
干式螺杆真空泵 COBRA BC 0101 G
簡介
性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 荣获专利的自平衡螺杆, 出色的运行品质, 非常适用于 load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效: 智能变速驱动装置, 拥有成本低, 维护少, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 集成控制面板
技术规格
上海伯东代理 Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0101 G, 抽速 100 m³/h, 极限压力 0.01 hPa, 适用于轻型到中型半导体应用, load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积以及快速热退火等
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0101 G 特点
性能出色: 先进的螺杆设计, 钟形悬臂结构, 荣获专利的自平衡螺杆, 出色的运行品质, 非常适用于 load lock 腔和传送腔, 计量, 平版印刷术, 物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效: 智能变速驱动装置, 拥有成本低, 维护少, 正常运行时间长, 直接水冷却
结构紧凑: 密闭式设计, 直联的罐装电机, 集成控制面板
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0101 G 规格
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技术参数 |
COBRA BC 0101 G |
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额定抽速 |
100 m³/h |
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极限压力 |
0.01 hPa (mbar) |
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电机额定功率 |
1.8 kW |
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极限压力时的功耗 |
1.1 kW |
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电机额定转速 |
3600 min⁻¹ |
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噪声级（ISO 2151） |
58 dB(A) |
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耗水量 |
1.0 l/min |
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重量（约） |
115 kg |
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尺寸（L x W x H） |
520 x 300 x 340 mm |
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进气口 |
DN 50 KF |
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排气口 |
DN 40 KF |
Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA BC 0101 G 应用
沼气处理: 升级 - 变压吸附
轻型半导体生产
不同行业和应用有不同的真空需求, 上海伯东是一家不仅销售各类高端精密仪器设备的公司, 更是针对不同的客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新项目应用的公司!
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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