1. 温度可到 -100℃ to -150℃。
2. 最大吸附热量为 3600 Watts。
3. 最大水汽抽气速度为 200,000 l/s,真空可达到 1.5*10E-12 torr (2*10E-12mbar)。
4. 提供快速的抽水汽速度,在高真空系统中可缩短 65%-95% 的抽气时间。
5. 使用绿色环保无氟冷煤。
6. 在高真空系统中吸附水汽,缩减抽真空时间多达 25% -75%。
7. 高速水汽抽气速度从 100,000l/s 到 200,000 l/s
8. 提高您现有真空系统生产能力的 20% 到 100%。
9. 改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
10. 降低生产成本。
11. 效果优于液态氮。
PFC-552HC,PFC-672HC,PFC-1102HC 水汽深冷泵/冷冻机
簡介
1. 温度可到 -100℃ to -150℃。
2. 最大吸附热量为 3600 Watts。
3. 最大水汽抽气速度为 200,000 l/s,真空可达到 1.5*10E-12 torr (2*10E-12mbar)。
4. 提供快速的抽水汽速度,在高真空系统中可缩短 65%-95% 的抽气时间。
5. 使用绿色环保无氟冷煤。
6. 在高真空系统中吸附水汽,缩减抽真空时间多达 25% -75%。
7. 高速水汽抽气速度从 100,000l/s 到 200,000 l/s
8. 提高您现有真空系统生产能力的 20% 到 100%。
9. 改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
10. 降低生产成本。
11. 效果优于液态氮。
技术规格
上海伯东 Polycold 快速回圈水汽深冷泵(冷冻机)采用 Polycold 公司低温冷冻技术,其工作原理依然是麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。这种低温盘管(Cryocoil)直接装在真空腔体内,系统不再受接头、进气管、阀和挡板等冷传导的影响,低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便地进行。
Polycold 快速水汽深冷泵运作原理:
Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速回圈水气低温泵-冷冻机 (PFC)。PFC低温冷冻技术,其工作原理是利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结有效地夺取水蒸气,通常在高真空系统(High Vacuum)内残余气体最主要是由 65% 到 95% 的水气分子组成,水气分子是最典型地具有副作用的污染气体。Polycold 系统可把水气快速地从真空系统中抽除,能为您缩短抽真空的时间达 20% 到 100%,提高产量以及产品品质,赚取更高的利润。
Polycold 快速回圈水汽深冷泵产品应用领域:
Polycold 公司拥有优越以及领先的冷却技术,可应用市场非常广范- 从半导体(semiconductors),太阳能薄膜制程 (Thin Film Solar Processes),光纤市场(optical networking),平板显示(flat panel displays),光学镀膜(Optical Coating、卷绕镀膜(web coating),装饰镀膜(decorative coating)。探测器冷却(detector cooling)技术可应用在航空(aerospace), 望远镜(telescopic), 以及实验室设备(laboratory requirements)。
我们提供最新技术的完整冷却方案,帮忙客户减少生产费用, 改进制程表现, 提高工作场所安全和增加生产可靠性。

Polycold PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机技术参数:
|
型号 |
550 HC |
552 HC |
670 HC |
672 HC |
1100 HC |
1102 HC |
|
标准性能 |
||||||
|
最大负载 |
1000 |
1000 |
1500 |
1500 |
3600 |
3600 |
|
最大抽速 |
74,500 |
74,500 |
104,300 |
104,300 |
298,000 |
298,000 |
|
极限真空 |
3X10E-9 |
3X10E-9 |
8X10E-9 |
8X10E-9 |
4X10E-8 |
4X10E-8 |
|
起始工作压力 atm |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
除霜时间min |
4 |
4 |
4 |
4 |
7 |
7 |
|
低温盘管,连接管路 |
||||||
|
盘管表面积 m2 |
0.5 |
0.5 |
0.7 |
0.7 |
2 |
2 |
|
单管路 PFC |
||||||
|
盘管直径 |
12 |
12 |
16 |
16 |
16 |
16 |
|
每一盘管长度 m |
13.3 |
13.3 |
14 |
14 |
40 |
40 |
|
双管路 PFC/PFC |
||||||
|
盘管直径 |
10 |
10 |
12 |
12 |
16 |
16 |
|
每一盘管长度 m |
7.96 |
7.96 |
9.28 |
9.28 |
20 |
20 |
|
最大功率 |
6 |
6 |
8.3 |
8.3 |
19.2 |
19.2 |
|
电压 V |
200 |
200 |
380 |
380 |
380 |
380 |
|
噪音 |
71 |
71 |
72 |
72 |
81 |
81 |
|
占地空间M3 |
13 |
13 |
16 |
16 |
27 |
27 |
|
重量 kg |
408 |
408 |
478 |
478 |
544 |
544 |
Polycold PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机产品优势:
1. 温度可到 -100℃ to -150℃。
2. 最大吸附热量为 3600 Watts。
3. 最大水汽抽气速度为 200,000 l/s,真空可达到 1.5*10E-12 torr (2*10E-12mbar)。
4. 提供快速的抽水汽速度,在高真空系统中可缩短 65%-95% 的抽气时间。
5. 使用绿色环保无氟冷煤。
6. 在高真空系统中吸附水汽,缩减抽真空时间多达 25% -75%。
7. 高速水汽抽气速度从 100,000l/s 到 200,000 l/s
8. 提高您现有真空系统生产能力的 20% 到 100%。
9. 改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
10. 降低生产成本。
11. 效果优于液态氮。
Polycold PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机连接设备方式:

Edwards 旗下 Polycold ® 冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机设计制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,适用于收集高真空腔体内残余水汽和油气并显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于光驰、欧瑞康、Applied 等镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理,全权负责 Polycold 销售.
真空镀膜机加装 Polycold
真空镀膜机(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量。真空镀膜设备通过加装上海伯东代理的美国 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵)在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%,Polycold 冷冻机目前已广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。
上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。与高温烘烤方法对比,高温烘烤只是把水分子从基片表面迁移,使基片减少对水蒸气的吸附,但是水蒸气还是存在于腔体内,依然影响抽气效率。Polycold 冷冻机是将 90% 以上的水分子吸附在低温盘管(Cryocoil)的表面,同时吸附掉真空腔内部分油分子,如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱,不仅能吸抽水汽还可以防止扩散泵返油。

目前在售 Polycold 型号:
|
型号 |
|||||
|
最大负载 Watts |
4,000 |
2,500 |
1,000 |
1,500 |
3,600 |
|
抽水汽效率 l/s |
220,000 |
140,000 |
50,000 |
70,000 |
200,000 |
|
极限真空 mbar |
7 x 10-8 |
1 x 10-9 |
3x10-9 |
8x10-9 |
4x10-8 |
* Polycold PFC-1102 HC 已经停产,替代型号 MaxCool 4000 H
美国 Edwards 旗下 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理,全权负责 Polycold 销售.
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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