2026-05-22 更新
阅读数 : 6
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上海伯东德国 PH-Instruments SRG 计量级转子规替代传统真空计, 作为标准真空压力源, 应用于各类高精度真空计传感器标校系统, 对各类真空计传感器 (包括电容薄膜规, 电离规, 电阻规, 热偶规等) 进行全量程, 高精度的计量检定与校准, 具备宽温区环境模拟能力, 满足传感器在全工作温度范围内的性能测试需求.
上海某真空设备公司高精度真空计传感器标校系统应用实例
使用上海伯东德国 PH-Instruments SRG 磁悬浮转子规 VIM-2 替代传统真空计, 作为高精度真空计校准系统的标准真空压力源, 对诸如电容薄膜规, 电离规, 热偶规等进行检定或校准.

校准方法: 采用比对法校准原理, 支持动态比对和静态比对两种工作模式, 可在抽气动态平衡状态和静态密闭状态下进行压力校准
真空压力校准系统部分数据
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压力范围 |
测量不确定度 |
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1*105~1*103 Pa |
≤0.1% |
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1*103~1*10-1 Pa |
≤1.0% |
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1*10-1~1*10-3 Pa |
≤2.0% |
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1*10-3~1*10-4 Pa |
≤5.0% |
作为标准真空压力源的上海伯东 ph-instruments 计量级转子规 VIM-2 基本规格
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测量原理 |
SRG 旋转转子技术 |
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测量范围 |
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar |
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精度 |
10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
1.4404, 1.4034 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
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远程控制 |
Win 7/10 |
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工作温度 |
电子元件 10 °C 至 40 °C |
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电源要求 |
18 ~28 VDC |
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模拟输出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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法兰类型 |
KF 25, 8 VCR, 焊接 |
上海伯东德国 ph-instruments 计量级转子规 VIM-2 应用优势
全金属设计, 耐腐蚀和沉积, 提供适用于高温真空环境的型号
高精度, 长期稳定, 无需校准
计量和校准标准「NIST可追溯性」
兼容性强, 适配各种真空系统集成
上海伯东 SRG 计量级转子规不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 适配更加严格的高精度真空压力校准系统.
若您需要进一步的了解 ph instruments 计量级转子规, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐
M: +86 1391-883-7267
台湾伯东: 王小姐
M: +886-939-653-958
上海伯东版权所有, 翻拷必究!
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伯東公司成立于1953 年,从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作。
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上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商,销售维修普发 Pfeiffer
真空产品20余年,协助客户选型并提供完善的售后维修服务。拥有100%原装进口维修设备和备品配件,提供快速维修服务。
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提供世界一流的真空产品
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。