2026-05-22 更新

阅读数 : 6

PH-Instruments 计量级转子规应用于高精度真空计传感器标校系统

上海伯东德国 PH-Instruments SRG 计量级转子规替代传统真空计, 作为标准真空压力源, 应用于各类高精度真空计传感器标校系统, 对各类真空计传感器 (包括电容薄膜规, 电离规, 电阻规, 热偶规等) 进行全量程, 高精度的计量检定与校准, 具备宽温区环境模拟能力, 满足传感器在全工作温度范围内的性能测试需求.

上海某真空设备公司高精度真空计传感器标校系统应用实例
使用上海伯东德国 PH-Instruments SRG 磁悬浮转子规 VIM-2 替代传统真空计, 作为高精度真空计校准系统的标准真空压力源, 对诸如电容薄膜规, 电离规, 热偶规等进行检定或校准.
SRG 计量级转子规
校准方法: 采用比对法校准原理, 支持动态比对和静态比对两种工作模式, 可在抽气动态平衡状态和静态密闭状态下进行压力校准

真空压力校准系统部分数据

压力范围

测量不确定度

1*105~1*103 Pa

≤0.1%

1*103~1*10-1 Pa

≤1.0%

1*10-1~1*10-3 Pa

≤2.0%

1*10-3~1*10-4 Pa

≤5.0%


作为标准真空压力源的上海伯东 ph-instruments 计量级转子规 VIM-2 基本规格

测量原理

SRG 旋转转子技术

测量范围

10 mbar 至 5 x 10-7 mbar

精度

10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 %

长期稳定性

< 每年 1 % 的漂移

接液材料管/球

1.4404, 1.4034

安装方式

水平

模拟接口

USB Type C, 蓝牙, 15pin

数字接口

USB, 蓝牙, RS 232, RS 485

远程控制

Win 7/10

工作温度

电子元件 10 °C 至 40 °C
测量头 10 °C 至 50 °C
传感器管可烘烤至 150 °C 弹性体密封,450 °C 金属密封

电源要求

18 ~28 VDC

模拟输出

0 - 10 VDC 可配置

法兰类型

KF 25, 8 VCR, 焊接


上海伯东德国 ph-instruments 计量级转子规 VIM-2 应用优势
全金属设计, 耐腐蚀和沉积, 提供适用于高温真空环境的型号
高精度, 长期稳定, 无需校准
计量和校准标准「NIST可追溯性」
兼容性强, 适配各种真空系统集成

上海伯东 SRG 计量级转子规不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 适配更加严格的高精度真空压力校准系统.

若您需要进一步的了解 ph instruments 计量级转子规, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐
M: +86 1391-883-7267 
    
台湾伯东: 王小姐
 M: +886-939-653-958
上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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伯東公司成立于1953 年,从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作。 重視以人为本的經營理念、与您密切合作,专业服务及时周到,我们为未来的技术提供支持,找到创新且节能的真空技术解决方案。

上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商,销售维修普发 Pfeiffer 真空产品20余年,协助客户选型并提供完善的售后维修服务。拥有100%原装进口维修设备和备品配件,提供快速维修服务。

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国际知名真空品牌指定授权代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,100% 原厂进口零部件及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力,24小时在线服务。

提供世界一流的真空产品

上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

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更新 : 2026-05-22

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