2026-09-22 更新

阅读数 : 73

Pfeiffer 普发质谱仪型号和参数对比

上海伯东 Pfeiffer 普发真空中国代理, 普发质谱仪基于四级杆质谱 QMS 原理, 通过气体成分定性或定量分析, 实现高效工艺控制. Pfeiffer 普发质谱仪主要型号残余气体分析仪 PrismaPro QMG 250, 在线质谱分析仪 OmniStar GSD 350 等.

普发四级杆质谱其工作原理基于电子撞击电离技术, 通过离子源, 分析器和检测器三部分协同工作, 实现对气体成分的定性和定量分析.四极杆质谱的核心, 是让气体分子先电离, 再在四根平行的金属电极杆之间飞行, 只让特定质荷比的离子通过到达检测器, 从而实现按质量数分辨气体.

pfeiffer 普发四极杆质谱原理

与傅里叶变换红外光谱 FTIR 和 红外光谱 IR 这样的方法相比, 四极杆质谱 QMS 更适合于气体的定性和定量分析.

普发残余气体分析仪(RGA): PrismaPro | QMG 250
特点: 直接安装在真空腔体法兰上, 测腔体内部残气成分与分压, 主要用于镀膜, 半导体腔体, 科研真空系统, 冷冻干燥(硅油检测)等, 需要在 < 10⁻⁴ hPa 真空环境下工作.
普发残余气体分析仪 PrismaPro QMG 250
质量范围:1–100 / 1–200 / 1–300 amu 三档可选

检测器:法拉第(F)或 C-SEM 电子倍增器(M)
检测限:法拉第最低约 4×10⁻¹³ hPa; C-SEM 可达 3×10⁻¹⁵ hPa
四极杆: 直径 6mm, 长125mm, 可直接装 DN40 CF 法兰, 可烘烤
高测量速度, 稳定性, 高分辨率 1 ms - 16 s/amu (10% 峰高)


普发在线质谱分析仪:OmniStar | ThermoStar | GSD 350
特点: 内置真空系统, 支持常压直接进样, 靠加热毛细管取样, 常与热重, 催化反应装置联用, 做动态气体在线监测, 满足化工工艺, 半导体, 冶金, 发酵, 催化作用, 冷冻干燥和环境分析等方面应用.
普发质谱仪

质量范围:1–100 / 1–200 / 1–300 amu 三档可选
进样:OmniStar 用不锈钢毛细管 / ThermoStar 用石英毛细管(最高加热350℃)
检测限:C-SEM < 100ppb
两级减压进气
测量时间快, 最快 1 ms/amu

上海伯东 Hakuto 自研在线质谱分析仪  Genius  
特点: 基于四级杆质谱 QMS 原理, 内置普发四极杆 QMG 250, 提供可定制版本的质谱分析仪, 例如: 压力控制进气, 特殊进气系统, 特殊外壳设计等, 适用于气体纯度分析, 真空监测, 泄漏检测和实时过程控制领域, 如气体杂质分析, 光催化, 热催化, 半导体制造先进材料加工,  上海伯东 Hakuto 在线质谱分析仪适配所有品牌的热重, 吸附仪, 催化剂评价装置.
上海伯东 Hakuto 自研在线质谱分析仪  Genius
质量范围:标准 1–200amu (可选 1-300 amu)

检测限:C-SEM < 100ppb
取样压力范围: 1E-5 torr 至 30 psi
停留时间 | 扫描速度: 1 ms - 16 s/u
接受客户定制, 灵活多变的配置

质谱法是一种广泛使用的分析方法, 用于观察物质的化学成分. 上海伯东根据您的检测质量数, 分辨率, 检测限, 测量速度等要求, 提供合适的气体分析定制解决方案


若您需要进一步的了解普发质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                             台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )          T: +886-3-567-9508 ext 161

现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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