Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 特气柜应用

上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 特气柜应用

上海伯东代理 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 为半导体设备中的特气柜提供干燥, 洁净的真空环境. 多级罗茨泵 ACP 28 G 针对腐蚀性气体优化, 配置氮气吹扫口, 适合严苛的工艺环境.

多级罗茨泵 ACP 28 G 特气柜应用优势: ACP 28G 是耐腐蚀型多级罗茨干泵, 适用于半导体, 光伏, 面板等行业特气柜的负压抽真空, 吹扫置换, 泄漏捕捉与安全排气场景设计, 以无油洁净, 防腐耐用, 稳定可靠, 紧凑低耗, 长周期免维护, 成为高危 / 高纯特气输送系统的理想真空解决方案.

提供干燥, 无油, 洁净的真空环境:
适用于腐蚀性气体,氮气吹扫流量300 hPa（相对）超压值
气冷型, 更低能耗
符合 CE 标准, 通过 UL/CSA 认证, SEMI S2 等认证

Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 特气柜典型应用场景
- 气瓶柜 / 特气柜负压维持, 泄漏抽除
- 管路与腔体真空吹扫, 气体置换
- 有毒 / 腐蚀 / 自燃特气安全排气与尾气前级抽送
- 高纯气体系统真空测漏, 保压试验
Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 特气柜应用

Pfeiffer 普发多级罗茨泵 ACP 28 G 技术规格

不含气镇或吹扫的极限压力, 最大值	4X10^-2 hPa
典型的最终压力, 带氮气吹扫, 50 Hz	2X10^-1 hPa
冷却类型	空气（强制对流）
抽速	27 m³/h
氮气密封气体流量	3.7 slpm (0 °C)
电子驱动单元安装类型	集成电子驱动单元
电机类型	单相电机
输入电压	110-230 V AC (±10 %), 50/60 Hz
噪音值	65 dB(A)
连接法兰（进口）	DN 25 ISO-KF
重量（约）	30 kg
尺寸（长 x 宽 x 高）	647 x 193 x 322 mm

上海伯东 Pfeiffer 普发 ACP 系列干式真空泵 (多级罗茨泵) , 采用非接触式运行设计, 结合多级压缩技术, 转子和定子之间不使用润滑油和密封材料, 抽气模块无磨损件, 无颗粒产生, 有效保证多级罗茨泵实现无油, 无颗粒污染的干燥真空环境, Pfeiffer ACP 系列干泵可作为分子泵的前级泵, 超长的使用寿命, 提供耐腐蚀型号供选择.

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