上海伯东某客户从事树脂镜片的研发, 生产和销售, 经过伯东推荐, 采用德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 对其生产设备 - 精密光学镀膜机进行检漏. 真空模式下, 漏率要求达到 1X10^-7 mbar l/s, 保证光学镀膜机在生产过程中的密封性.

光学镀膜机检漏方法: 采用氦质谱检漏仪真空模式, 漏率设置为 1X10^-7 mbar l/s, 主要对真空室和连接管路进行检漏, 通常真空室内漏气都是从室壁上的一些接口或部件之间的焊缝中发生, 当抽气系统抽气后使真空室内压强降低, 外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内, 形成真空度降低. 真空度的降低则会降低光学镜片的合格率.

检漏仪通过波纹管, 与镀膜机背部预留的接口连接, 启动检漏仪, 设置好漏率, 在怀疑有漏的地方喷氦气
 

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 上海伯东氦质谱检漏仪应用案例 >>

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