2025-12-16 更新

阅读数 : 30

Pfeiffer 普发全量程真空计 PKR 251 应用于6寸碳化硅外延炉

上海伯东德国 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251, 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.

全量程真空计 PKR 251 应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用真空规 PKR 251 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 真空计完全符合工艺要求.
Pfeiffer 普发全量程真空计 PKR 251

 

Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 技术参数

型号

接口

测量范围
(空气, N2)

最大压力
(绝对值)

准确度

可重复性

输出信号(测量信号)

电源电压

PKR 251

DN25 ISO-KF
DN40 ISO-KF
DN40 CF-F

5X10-9 至 1000 hPa

10000 hPa,
仅限于惰性气体且温度 < 55 °C

在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 30 %

在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 5 %

电压范围
大约 0 V – 大约 +10.5 V

在真空计处
15.0至30.0 V DC


上海伯东代理 Pfeiffer 普发真空计提供模拟信号真空计 ActiveLine, 模块化真空计 ModulLine, 数字真空规  DigiLine, 手持真空计, 配套真空计显示器以及完全替代莱宝真空计 CenterLine 满足各类真空应用.

另有 SRG 磁悬浮转子真空计,耐腐蚀和沉积,高精度, 长期稳定, 了解详细信息 >>

对于每种真空测量应用, 上海伯东都可以根据您所需的精度, 压力范围和物理测量原理选择合适的真空计并通过优化的配件, 首选接口确保顺畅的通信. 上海伯东真空计应用案例 >>

若您需要进一步的了解  Pfeiffer普发真空计 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                                 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                                         F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              M: +886-939-653-958
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