透射电子显微镜 Transmission electron microscopy 简称 TEM 是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射.透射电子显微镜 TEM 因为可以看到在光学显微镜下无法看清的小于 0.2um 的细微结构,广泛应用于材料分析领域.

透射电子显微镜需要高真空环境
TEM 主要由照明系统, 成像系统, 真空系统, 记录系统, 电源系统 5部分构成. 其中电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求很高, 电镜工作必须保持在 10-3～10Pa 以上的真空度 (高性能的电镜对真空度的要求更达 10Pa以上), 因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞, 就会产生电离放电和散射电子, 从而引起电子束不稳定, 增加像差, 污染样品, 并且残留气体将加速高热灯丝的氧化, 缩短灯丝寿命. 因此需要稳定的高真空环境.

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