上海伯东 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300 集成在 Hauzer 镀膜设备中

上海伯东德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 集成在 Hauzer PVD 镀膜设备中，PVD 镀膜需要在真空环境下进行，因此需要利用分子泵保持稳定的真空度和更长的使用寿命。

涡轮分子泵 HiPace 2300 功能特性：
1. 半磁浮涡轮分子泵,采用油棉润滑（起到清洗轴承和给轴承降温的作用)
2. 对气体 Ar, H2,He,N2,CF4 大抽吸能力
3. 高气体通过量
4. 配有 Purge 阀门,防止颗粒进入轴承
5. 真空度最高 5x10^-10 hPa

分子泵型号	进气口	抽速 l/S	压缩比	气体流量 hPa l/S	前级真空
HiPace 2300 HiPace 2300 U HiPace 2300 C HiPace 2300 UC	DN 250 ISO-K DN 250 ISO-F DN 250 CF-F	Ar: 1800 H2: 1850 He: 2000 N2: 1900 CF4: 1450	Ar: >1x108 H2: 2x104 He: 3x105 N2: 1900 CF4: 1x108	Ar: 16 H2: > 30 He: 20 N2: 20 CF4: 14	1.8 hPa

涡轮分子泵 C 系列：抗腐蚀设计，专为腐蚀性气体应用环境而设计研发
涡轮分子泵 U 系列：可以倒装
实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时！更长的运行时间和易维护等优点使其广泛集成在各类真空设备中。

上海伯东客户案例: Hauzer 豪泽 PVD 镀膜设备(内配分子泵 Hipace 2300)用于汽车灯具镀膜
pfeiffer 普发分子泵 HiPace2300
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上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.

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