光子型探测器（photon detector）是利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器，也称光电型探测器。探测器中的电子直接吸收光子的能量，使运动状态发生变化而产生电信号，常用于探测红外辐射和可见光。光子型探测器（photon detector）属于真空电子器件，对密封性的要求极高，因此需要检漏。

光探测器的检漏方法可归纳入电子元件类检测方法，即“背压法”。由于电子元件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，而氦检漏又离不开氦气作为示踪气体。这时需要通过一种间接的办法“渗入”氦气，具体做法如下。

1.将被检电子元件放入保压罐，压力和时间根据漏率大小设定

2.取出电子元件，使用空气或氮气吹扫表面氦气

3.将电子元件放入真空测试罐，如图二，测试罐连接氦质谱检漏仪

4.启动氦质谱检漏仪，开始检测

图二:真空测试腔

客户在对比了 Varian by Agilent 同类型氦质谱检漏仪之后，最终从抽速、检测精度和市场口碑等方面确定了上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340。

ASM 340 检漏仪由德国 Pfeiffer 独家设计和制造，其配备的 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂，如英福康 Inficon UL1000 检漏仪、爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪、布鲁克 Bruke 医疗设备、岛津 Shimadzu 分析仪器等。

新款氦质谱检漏仪 ASM 340 特点：
1. 前级泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s

3. 检漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸枪模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡，方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动，降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件，如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 上海伯东氦质谱检漏仪应用案例 >>

若您需要进一步的了解 Pfeiffer 普发氦质谱检漏仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐                                                 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              T: +886-3-567-9508 ext 161
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