光子型探测器（photon detector）是利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器，也称光电型探测器。探测器中的电子直接吸收光子的能量，使运动状态发生变化而产生电信号，常用于探测红外辐射和可见光。光子型探测器（photon detector）属于真空电子器件，对密封性的要求极高，因此需要检漏。

光探测器的检漏方法可归纳入电子元件类检测方法，即“背压法”。由于电子元件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，而氦检漏又离不开氦气作为示踪气体。这时需要通过一种间接的办法“渗入”氦气，具体做法如下。

1.将被检电子元件放入保压罐，压力和时间根据漏率大小设定

2.取出电子元件，使用空气或氮气吹扫表面氦气

3.将电子元件放入真空测试罐，如图二，测试罐连接氦质谱检漏仪

4.启动氦质谱检漏仪，开始检测

图二:真空测试腔

客户在对比了 Varian by Agilent 同类型氦质谱检漏仪之后，最终从抽速、检测精度和市场口碑等方面确定了上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340。

ASM 340 检漏仪由德国 Pfeiffer 独家设计和制造，其配备的 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂，如英福康 Inficon UL1000 检漏仪、爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪、布鲁克 Bruke 医疗设备、岛津 Shimadzu 分析仪器等。

新款氦质谱检漏仪 ASM 340 特点：
1. 前级泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s

3. 检漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸枪模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡，方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动，降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件，如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

Pfeiffer 还有干式检漏仪，如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 检漏仪 ，在半导体行业普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推车的 ASM 380 检漏仪等。而工作台式检漏仪 ASM 1002 提供可选腔体让诸如电子元件这样的小产品得以快速方便的检漏。