2025-12-11 更新
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高真空分子泵对比
真空按真空度可划分为低真空, 中真空, 高真空和超高真空. 上海伯东提供适用于科研, 工业, 半导体等行业各类高真空系统解决方案. 根据客户腔体大小和真空工艺要求, 推荐抽速范围 10 至 4500 l/s 全系列进口分子泵, 几乎满足所有应用.
热门高真空分子泵
Pfeiffer 普发涡轮分子泵: 抽速范围 10 至 1900 l/s, 极限真空 10-7 hPa
特点: 任意角度安装, 具有高性价比和安装角度的灵活性, 对于小分子气体具有更高的压缩比
广泛应用于工业, 科研,分析市场.
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抽速l/s |
10 |
30 |
67 |
300 |
380 |
685 |
790 |
1250 |
1500 |
1900 |
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低振动 |
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高排气量 |
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Edwards STP 磁悬浮分子泵: 抽速范围 300 至 4500 l/s, 极限真空 10-7 hPa
特点: 抽速范围广, 全磁浮设计, 无污染
适用于运行要求时间长,维护需求小且振动低的高真空应用, 广泛应用于半导体市场.
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抽速l/s |
300 |
600 |
1000 |
1600 |
2200 |
3200 |
4000 |
4500 |
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超高真空 |
301 |
451 |
603 |
1003 |
- |
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高排气量 |
H301C |
H451C |
H803C |
H1303C |
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高排气量 |
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A803C |
A1303C |
A1603C |
A2203C |
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高流量和高排气量 |
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F2203C |
XA2703C |
XA3203C |
XA4503C |
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振动小 |
L301 |
L451 |
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集成控制器 |
iX457 |
iXU457 |
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iS1607 |
iS2207 |
iXA2206 |
iX3006 |
iXA3306 |
iXA4506 |
iXA4507 |
上海伯东同时提供高真空系统所需的前级泵, 用于真空测量的真空规, 用于腔体密封性测试的氦质谱检漏仪, 反应过程气体分析的残余气体分析仪以及真空闸阀, 离子源等, 客制化提供高真空系统解决方案.
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
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