2026-02-05 更新
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上海伯东 Pfeiffer 普发涡轮分子泵应用于扫描电镜 SEM
上海伯东德国 Pfeiffer HiPace Plus 系列涡轮分子泵广泛集成在扫描电子显微镜 SEM 设备中.
扫描电子显微镜 SEM, 简称扫描电镜原理是利用电子束扫描物体表面实现成像. 空气的存在会使的电子束变型, 影响扫描效果,因此要抽真空, 高效的涡轮分子泵有利于保持样品室的清洁度; 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 时需要在真空环境下, 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空室.
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为扫描电子显微镜 ( 扫描电镜 SEM ) 和高端质谱行业量身定做的产品, 分子泵低振动和低磁场设计, 广泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本电子 Jeol 等分析仪器设备里.
Pfeiffer HiPace Plus 涡轮分子泵目前在售型号 HiPace 300 Plus 和 HiPace 700 Plus
以 HiPace 300 举例,主要技术参数如下:
|
型号 |
涡轮分子泵 HiPace 300 |
涡轮分子泵 HiPace 300 Plus |
|||||
|
允许环境磁场 |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
|
|
最大允许磁场 |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
|
|
噪音 |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
|
|
安装方式 |
任意位置安装 |
垂直,法兰向上 |
|||||
|
进气口 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
|
|
极限真空度 |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
|
|
Ar 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
|
|
H2 抽速 |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
|
|
He 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
|
|
N2 抽速 |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
|
|
Ar 压缩比 |
> 1X1011 |
||||||
|
H2 压缩比 |
9X105 |
||||||
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He 压缩比 |
> 1X108 |
||||||
|
N2 压缩比 |
> 1X1011 |
||||||
|
分子泵全速时 Ar 气体流量 |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
|
|
分子泵全速时 He 气体流量 |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
|
|
分子泵全速时 H2 气体流量 |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
|
|
分子泵全速时 N2 气体流量 |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
|
|
Ar 前级真空 |
25 hPa |
25 hPa |
25 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
|
|
H2 前级真空 |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
|
|
He 前级真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
|
|
N2 前级真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
|
上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.
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上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
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