2025-12-05 更新
阅读数 : 16
氦质谱检漏仪半导体流量控制阀MFC检漏
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪成功应用于深圳某半导体设备生产商, 此次共采购 5台德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪,用于流量控制阀 MFC 检漏.
流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业, 特种材料学科, 化学工业, 石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.
伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性. 对密封性要求特别高，达5E-11 Pa m3/s，选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下，经过实际论证, 最终确定选用上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪.
伯东公司德国普发 Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 340 采用触屏设计, 中文操作界面, 使用业界最新工艺设计生产, 具有坚固耐用, 操作简单, 抽气速度快, 数据可靠等特点. 伯东公司协助客户选型并提供完善的售后服务.
.jpg)
氦质谱检漏仪 ASM 340 技术参数：
|
型号 |
ASM 340 W |
ASM 340 D |
ASM 340 I |
|
对氦气的最小检测漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
|
检测模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
|
检测气体 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
|
启动时间 min |
3 |
3 |
3 |
|
对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
|
进气口最大压力 hPa |
25 |
25 |
5 |
|
前级泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前级泵 |
|
重量 kg |
56 |
45 |
32 |
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
推荐搭配
