上海伯东美国 KRi 离子源中国总代理, 即将上市负载谐振驱动™（LRD™） 创新型射频等离子体源 RFp120‑LRD 及控制器, 运行稳定可靠, 维护简单便捷, 工艺响应性能优异.


什么是 LRD ™
Load Resonance Drive™ 负载谐振驱动模块（LRD）安装在等离子体源的大气侧, 是美国 KRi 推出的一款创新组件. 该模块结合 KRi 自研专有控制算法与氮化镓场效应管（GaNFET）技术, 实现 DC-RF 直流直接转射频.

LRD 利用等离子源线圈与匹配电容的固有谐振特性, 对功率晶体管进行软开关操作, 转换效率高达 98% 以上. 由此带来极快的控制响应速度, 可对系统其余各项参数进行实时调节.  LRD 无需射频传输电缆以及独立的阻抗匹配网络, 进一步简化整机系统设计.

美国 KRi 研发团队推出的具有行业变革意义的功率输出平台 - LRD 负载谐振驱动, 机柜占用空间可减少 50% 以上. 该技术让离子源 / 等离子体源实现高效, 极稳定运行, 为行业提供区别于传统射频供电方案的全新选择, 是 KRi 差异化核心技术. 专利号：**US 12,112,919**

上海伯东美国 KRi 创新型射频等离子体源 RFp120‑LRD, 为离子源的应用和精密工艺发展带来新的解决方案. 设备搭载KRi  Load Resonance Drive™（LRD 负载谐振驱动）技术, 省去传统射频线缆与外置阻抗匹配网络, 转换效率超 98%，兼具超快工艺响应, 易维护, 运行稳定等优势, 适配精密光学镀膜, 半导体, 材料表面处理等精密工艺.

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