伯东企业（上海）有限公司作为德国  Pfeiffer 真空设备, 德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 美国 KRi 离子源, 日本 IBE 离子束刻蚀机, 美国 InTest 高低温冲击热流仪, 美国 Gel-Pak 芯片包装盒, 美国 HVA 高真空闸阀等国际知名进口真空品牌的指定代理商, 参展 SEMICON@ CHINA 2026 上海半导体展！

上海伯东凭借多年真空经验, 在提供合适的产品同时更为您提供各类真空工艺的解决方案, 协助您优化工艺过程, 提高生产效率! 上海伯东期待您的莅临！
【参展时间】: 2026年3月25-3月27日
【地点】: 上海新国际博览中心
【伯东展位】: N2号馆, 2267 位置

在现场, 我们为您详解适用于半导体行业的各类产品！
伯东是一家不仅销售各类进口精密仪器设备的公司, 更是针对不同的客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新项目应用的公司! 

德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计
在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %.
全金属设计, 耐腐蚀抗污染和沉积
长期稳定 < 每年 1 % 的漂移
替代离子规


日本 IBE 离子束刻蚀机
适用于 4 到 8英寸的材料刻蚀
干法, 物理, 纳米级别的刻蚀
蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等的加工形状
刻蚀均匀性 ≤ ±5% ,部分材料 3%


美国 KRi 大口径射频离子源
3层栅极设计, 栅极口径 38cm
提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 最大离子束流 > 1000mA
满足 300 mm (12英寸)晶圆刻蚀
适用于离子刻蚀, 溅射沉积 



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上海伯东: 叶小姐                                                 台湾伯东: 王小姐
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