2025-12-16 更新
阅读数 : 24
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上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 推出气密离子源型号, 适合与进气系统组合使用, 并具有低气体消耗和高信噪比的特点. 残余气体分析仪 PrismaPro 模块化设计满足多种应用: 例如工业 ( 冷冻干燥 )和分析仪器, 研发, 半导体生产和真空镀膜技术等.

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
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型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四极杆直径/长度 |
6 / 125 mm |
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最小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 开放式离子源
* 2 停留时间 4秒
* 3 与 C-SEM 相比, 具有较高的灵敏度
若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东:叶小姐 台湾伯东:王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
qq:2821409400
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上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商,销售维修普发 Pfeiffer
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