上海伯东某真空系统集成商搭建分子束外延 MBE 设备, 经过我司推荐采购 Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 300 Pro.协助实现客户的 MBE 系统用于最大单片 4"或 3X2"的衬底, 进行 III-V,II-VI 及氮化物, 氧化物等各类材料的外延生长.

此 MBE 系统主要功能
最大 4英寸或 3个2英寸衬底
双区域液氮冷屏
垂直腔室
可扩展多个工艺及分析腔室, 可集成多种分析仪器, 如 XPS, STM 等
超高真空 UHV 缓冲室
真空进样室
真空度可到 2×10-10 torr


Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 300 Pro, 前级泵配置多级罗茨泵 ACP 15, 抽速 m3/h, 分子泵配置 HiPace 300, 抽速 260 l/s, 泵组“即插即用”, 清洁无油, 操作简便, 泵组极限真空 < 1X10-8 hPa. 特别适合用于各类真空系统的搭建！

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