上海伯东真空产品集成在 OLED 真空系统中

上海伯东代理的进口真空产品目前广泛集成在 OLED 高真空系统中, 以上海伯东客户举例, 真空腔体真空度要求达到 -8 mbar, 高真空系统主要配置:德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 700 + 全量程真空计 PKR 251 + 美国 HVA 6寸真空闸阀.

真空产品主要技术参数如下:

分子泵 HiPace 700	品牌	极限真空 hPa	N2 抽速 l/s	N2 压缩比	最高启动压强mbar	全转速气体流量hPa l/s	电压
分子泵 HiPace 700	德国 Pfeiffer	< 5 X10^-10	685	> 1X10¹¹	11(N2)	6.5(N2)	48 ± 5 % V DC

全量程真空计 PKR 251	品牌	测量范围	测量精度	烘烤温度	灯丝	密封方式	电压
全量程真空计 PKR 251	德国 Pfeiffer	1,000 至 5 X10^-9 hPa	10^-8 至 10² hPa ± 5 %	≤ 150 °C	钨	FPM 密封	15-30 V DC

真空闸阀 HVA 6寸	品牌	极限真空 mbar	驱动方式	口径	最小漏率	打开前最大压力	烘烤温度
真空闸阀 HVA 6寸	美国 HVA	1X10^-10	气动	DN 160 CF-F	< 2 x 10-9 mbar l/s	≤ 30 mbar	≤150 °C

* 鉴于信息保密,更详细的分子泵应用欢迎致电 021-5046-3511

上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东：叶女士                            台湾伯东：王女士
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上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商，销售维修普发 Pfeiffer 真空产品20余年，协助客户选型并提供完善的售后维修服务。拥有100%原装进口维修设备和备品配件，提供快速维修服务。

专业销售维修团队

国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 原厂进口零部件及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力，24小时在线服务。

提供世界一流的真空产品

上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

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