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残余气体分析仪 HiCube Neo RGA

残余气体分析仪 HiCube Neo RGA
残余气体分析仪 HiCube Neo RGA

气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料
分子泵组 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 扩展套件
数字真空计:MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
腔室:筒式加热器+绝缘
进气阀: 取决于应用

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或直接联络客服: 139-1883-7267

残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 质量数:1-300 amu

簡介

气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料
分子泵组 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 扩展套件
数字真空计:MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
腔室:筒式加热器+绝缘
进气阀: 取决于应用

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技术规格

上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA, 操作简单, 便携设计,集成涡轮分子泵组 HiCube 80 Neo 和四级杆质谱仪 QMG 250, 客制化选择. 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 适用于压力范围从大气到高真空的应用, 如真空镀膜, 真空炉, 冷冻干燥和科研.

Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 配置可选
气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料
分子泵组 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 扩展套件
数字真空计:MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
腔室:筒式加热器+绝缘
进气阀: 取决于应用

质量数(量程)

1-100, 1-200, 1-300 u

入口

Evn 116 或闸阀或全金属阀

人机交互

7英寸触摸显示器

总压力测量

数字真空计 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

检测限

3…5E-15 hPa

尺寸

583 x 446 x 434 mm

重量

22-27 kg 根据配置


四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube Neo 涡轮分子泵组的搭配

涡轮分子泵组

HiCube™ 80 Neo

HiCube™ 80 Neo

分子泵

SplitFlow ® 80

SplitFlow ® 80

隔膜泵

MVP 015-2 DC

MVP 030-3 DC

电压(范围)

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮气抽速

67 l/s

前级泵在 50 Hz 时的泵送速度

1 m3/h

1.8 m3/h

极限真空

<1X10-7 hPa

真空计

MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

阀门

EVN 116 或闸阀或全金属阀

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径/长度

6 /125 mm

最小检测极限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小检测极限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作压力 F hPa

5X10-4

最大工作压力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

对临近质量数的影响*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 °C

烘烤温度 分析

300 °C

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重复性

± 0.5 %

接口

以太网

电源电压

100–240 V AC,50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg

 
与 HiCube RGA 比较
设计更紧凑
金属密封
配有7英寸触摸屏 和 PV MassSpec 软件
通过数字真空计监测总压力, 保护灯丝
大量的定制选项

Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 应用场景
研发
冷冻干燥 / 冻干
真空炉
镀膜

上海伯东根据您的实际需求, 提供可定制版本的质谱分析仪, 例如: 压力控制进气, 特殊进气系统, 特殊外壳设计等, 满足不同应用. 点击了解更多应用案例 >>

上海伯东 Hakuto 自研质谱现已上市,  经济适用,接受客户定制,提供灵活多变的气体分析应用解决方案: 点击了解详细信息 >>

若您需要进一步的了解 质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                                 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                                         F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
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