残余气体分析仪 HiCube Neo RGA

质量数(量程)

1-100, 1-200, 1-300 u

入口

Evn 116 或闸阀或全金属阀

人机交互

7英寸触摸显示器

总压力测量

数字真空计 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

检测限

3…5E-15 hPa

尺寸

583 x 446 x 434 mm

重量

22-27 kg 根据配置

涡轮分子泵组

HiCube™ 80 Neo

HiCube™ 80 Neo

分子泵

SplitFlow ^® 80

SplitFlow ^® 80

隔膜泵

MVP 015-2 DC

MVP 030-3 DC

电压（范围）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮气抽速

67 l/s

前级泵在 50 Hz 时的泵送速度

1 m³/h

1.8 m³/h

极限真空

<1X10^-7 hPa

真空计

MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

阀门

EVN 116 或闸阀或全金属阀

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径／长度

6 /125 mm

最小检测极限 F hPa *^1,2

4X10^-13

5X10^-13

7X10^-13

-

-

-

最小检测极限 M hPa *^1,2

-

-

-

3X10^-15

4X10^-15

5X10^-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*³

5X10^-4

4X10^-4

3X10^-4

5X10^-4

4X10^-4

3X10^-4

最大工作压力 F hPa

5X10^-4

最大工作压力 M hPa

-

-

-

5X10^-5

5X10^-5

5X10^-5

对临近质量数的影响^*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 °C

烘烤温度 分析

300 °C

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重复性

± 0.5 %

接口

以太网

电源电压

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg