上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.

电子束光刻机腔体需要检漏
电子束光刻机内部腔体使用分子泵, 离子泵抽真空, 通过全量程真空计 PKR 251 监测真空度, 腔体需要维持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔体有漏导致真空度不够, 会影响设备性能, 因此需要对整个腔体进行泄漏检测.

电子束光刻机腔体检漏方法
上海伯东推荐客户使用前级泵为干泵的便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 进行泄漏检测.
当真空度达到 15 hPa 时, 在腔体周围怀疑有漏的位置吹扫一定量的氦气, 同时启动便携式检漏仪 ASM 310 开始检漏, 真空模式下, 设置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有检测到实际漏率大于设定值, 检漏仪会报警提醒同时操作界面显示漏率值, 从而可以定位定量判断腔体泄漏位置, 完成整个腔体的泄漏检测.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪轻便紧凑的产品
对氦气的最小检测漏率
真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式 1E-8 Pa m3/s
对氦气的抽气速度 1.1 l/s

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 上海伯东氦质谱检漏仪应用案例 >>

若您需要进一步的了解 Pfeiffer 普发氦质谱检漏仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐                                                 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                                         F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )              M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
上海伯东版权所有, 翻拷必究！

上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 310 电子束光刻机检漏