某专门生产半导体配件公司, 不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体行业, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 10-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东推荐选择 pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390.

待检漏产品:

半导体配件检漏方法: 根据待检漏产品特性, 选择真空法来检漏, 设定好漏率值,用检漏仪直接连接待检漏配件, 检漏仪将检测配件内部的气体抽到一定的真空度, 然后氦气通过喷枪吹扫在部件的外表面. 可直观定位漏点, 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 符合人体工学设计, 移动性强, 符合 Semi S2 标准！


上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390
针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, ASM 390 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间！
检测气体: 4He, 3He, H2
最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
对氦气的抽速: 10 l/s
前级泵抽速: 35 m3/h

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 上海伯东氦质谱检漏仪应用案例 >>

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上海伯东: 叶小姐                                                台湾伯东: 王小姐
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