Hakuto 离子蚀刻机

Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
伯东公司超过 50年的刻蚀 IBE 市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀技术!

Hakuto 离子蚀刻机

伯东离子蚀刻机对磁性材料, 黄金, 铂和合金金属提供蚀刻技术. 适合做各种材料的蚀刻.

型号

4 IBE

7.5 IBE

16 IBE

20 IBE-C

MEL 3100

样品数量尺寸

4”φ, 1片

4”φ, 1片

6”φ, 1片

4”φ, 6片
6”φ, 4片

3”φ-6”φ,1片

均匀性

≤±5%

≤±5%

≤±5%

≤±5%

≤±5%

离子蚀刻机 4 IBE

小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究
样品数量尺寸: 4”φ, 1片
配置考夫曼离子源 KDC 40

离子刻蚀机

 

离子蚀刻机 7.5 IBE

小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究
样品数量尺寸: 4”φ, 1片
配置考夫曼离子源 KDC 75

离子蚀刻机

 

离子蚀刻机 10 IBE

小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究
样品数量尺寸: 4”φ, 1片

离子刻蚀机

 

离子蚀刻机 20 IBE-C

适合中等规模量产使用的离子刻蚀机
样品数量尺寸: 4”φ, 6片 或 6”φ, 4片

 

离子蚀刻机 20 IBE-J

适合大规模量产使用的离子刻蚀机

 

全自动离子刻蚀机 MEL 3100

全自动离子刻蚀机,
样品数量尺寸: 3”φ - 6”φ,1片

全自动离子刻蚀机

 

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