Hakuto (NS) 离子蚀刻机

Hakuto NS 日本原装设计制造离子刻蚀机, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 AU, 铂 PT, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供最优蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. NS 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!

Hakuto (NS) 离子蚀刻机

Hakuto (NS) 离子蚀刻机对磁性材料, 黄金, 铂和合金金属提供最佳蚀刻技术. 适合做各种材料的蚀刻.

型号

NS 7.5IBE

NS 10IBE

NS 20IBE-C

NS 20IBE-J

适用范围

适用于科研院所,实验室研究

适合小规模量产使用和实验室研究

适合中等规模量产使用的离子刻蚀机

适合大规模量产使用的离子刻蚀机

基片尺寸

Φ4 X 1片或
Φ6 X 1片

φ8 X 1片

φ3 inch X 8片
φ4 inch X 6片
φ8 inch X 1片

Φ4 inch X 12片
φ5 inch X 10片
φ6 inch X 8片

NS 离子蚀刻机 7.5IBE

小型离子蚀刻机,适用于科研院所,实验室研究

NS 离子蚀刻机 10IBE

小型离子蚀刻机,适合小规模量产使用和实验室研究

NS 离子蚀刻机 20IBE-C

适合中等规模量产使用的离子刻蚀机

 

NS 离子蚀刻机 20IBE-J

适合大规模量产使用的离子刻蚀机

 

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