KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
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KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列, 加热灯丝产生电子, 是典型的考夫曼型离子源, 增强设计输出高质量,稳定的电子流.
美国 KRI 考夫曼公司新升级 Gridded KDC 系列离子源, 新的特性包含自对准离子光学和开关式电源控制. 考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 考夫曼离子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼离子源, 电子中和器, 电源供应器等等可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:
通过加热灯丝产生电子
低电流高能量宽束型离子源

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:
辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
溅镀&蒸镀 PC
表面改性, 激活 SM
沉积 DD
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
 

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

型号

KDC10

KDC40

KDC75

KDC100

KDC160

电压

DC magnetic confinement

 - 阴极灯丝

1

1

2

2

2

 - 阳极电压

0-100V DC

电子束

电子束

 - 栅极

专用,自对准

 - 栅极直径

1 cm

4 cm

7.5 cm

12 cm

16 cm

中和器

灯丝

灯丝

灯丝

灯丝

灯丝

电源控制

KSC 1202

KSC 1202

KSC 1212
或 KSC 1202

KSC 1212

KSC 1212

配置

-

 - 阴极中和器

LFN 1000

LFN 1000

LFN 2000

LFN 2000

LFN 2000

 - 高度

4.5'

6.75'

7.9'

9.25'

9.92'

 - 直径

1.52'

3.5'

5.5'

7.6'

9.1"

 - 离子束方向

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

 -加工材料

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

 -工艺气体

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

 -安装

2-12”

6-18”

6-24”

8-36”

8-45”

 

 

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