分子泵 LOW-E 生产线抽真空
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分子泵 LOW-E 生产线抽真空

Pfeiffer 分子泵在LOW-E(低辐射玻璃)生产线中的应用
LOW-E全名Low emissivity,是低辐射镀膜玻璃。相对热反射玻璃而言是一种新型节能玻璃。目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术(离线法)生产Low-E玻璃。伯东公司销售的德国普发 Pfeiffer 分子泵成功应用于此。

原理:玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体Ar或反应气体O2、N2),并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极,并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极,加上直流或交流电源,在高电压的作用下,工艺气体发生电离,形成等离子体。其中,电子在电场和磁场的共同作用下,进行高速螺旋运动,碰撞气体分子,产生更多的正离子和电子;正离子在电场的作用下,达到一定的能量后撞击阴极靶材,被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层,阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜,必须使用多个阴极,每一个阴极均是在玻璃表面来回移动,形成一定的膜厚。

德国普发 PFEIFFER 凭借其120多年的真空制造经验和全球范围内的售后服务和技术支持赢得LOW-E市场客户的青睐,德国冯.阿登纳(VON ARDENNE)是最典型的客户。PFEIFFER 分子泵的LOE-E生产线使用在信义玻璃,南玻等中国玻璃制造巨头。
Pfeiffer 分子泵优点:

  • 多抽速供客户选择,抽速为1,000至2,000L/S
  • 对于H2,He和Ar,CF4有高的抽速
  • 安装位置从0到90度,90到180度
  • 高的气体流通量,即使是Ar,CF4
  • 集成的TC 1200驱动单元可直接连接电源
  • 抗腐蚀能力供选择
  • 丰富的接口界面:RS-485以及远程控制;profibus或者Devicenet可供选择
  • 拥有IP 54和Semi S2 等级
  • 稳定安全的转子轴承系统
  • 符合UL,CSA以及TUV认证
  • 简单的安装
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