普发氦质谱检漏仪

SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
上海伯东代理德国 ph instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 凭借高精度测量, 耐腐蚀和沉积, 长期稳定等优点, 成功替代离子规, 用于显示面板上的真空腔体实时检测. 助力国产新型显示制造装备的研发生产.

SRG 磁悬浮转子真空计为显示面板腔体测量提供解决方案
真空测量难点: 测量范围要求 10 至 10^-5pa, 腔体真空压力需要实时检测, 工艺是真空腔内, 气态有机溶剂在真空状态下, 被电离后碳化, 客户使用离子规几天就会损坏,严重影响研发生产的节奏.

被污染的离子规

上海伯东推荐使用 ph instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 与其他类型真空计对比, 磁悬浮转子真空计具有长期的坚固性, 高度准确和稳定的压力读数, 耐腐蚀和沉积, 即使在腐蚀工艺中, 其他仪表可能会漂移和失效,  SRG 磁悬浮转子真空计无影响.

SRG 磁悬浮旋转转子真空规与离子规对比表

类型	SRG 旋转转子真空规	离子规
精度	1% 读数	约 20% 读数
量程	10 mbar 至 5x10-7mbar	1x10-3mbar 至 1x10-10mbar
加热真空腔体	机械测量, 无影响	离子规会发热,导致加热真空腔体
电离真空	机械测量, 无影响	离子规会出现离子逃逸,污染真空腔体
读数随时间漂移	<1% 每年, 无需校准	漂移显著,需要定期校准
机械稳定性	稳定	不稳定
吸气泵	无	有限的
脱气	无	有限的
温度影响	少	高
超洁净	材质不锈钢, 耐腐蚀和沉积	材质多为复合材料, 灯丝容易被污染,因此不耐腐蚀
对气体类型的依赖	少	高
沉积	可以忽略不计	高
对振动的敏感	是	否
使用寿命	长(使用数年)	短(几个月)

 

上海伯东 ph-instruments  SRG 旋转转子真空规主要优势
更宽的测量范围: (1000) 100 至 5x10^-7mbar 满足不同应用
可靠性和准确性: +/- 1% 的读数精度, 更强的旋转频率 615Hz
长期稳定性（每年<1.5%漂移）: 更强的磁场 90mT, 更好的屏蔽材料 ST37
机械稳定性: 更坚固的机械设计, 全金属固定
兼容性和灵活性:多种法兰接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析诊断功能, 易于设置和控制,支持数据存储, 24VDC 和电池供电

上海伯东德国 ph-instruments  Dositorr SRG 高真空传感器适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.

DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)

若您需要进一步的了解 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 请参考以下联络方式

上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
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