分子泵 ITO 镀膜生产线抽真空
阅读数: 2430

分子泵 ITO 镀膜生产线抽真空

德国普发pfeiffer 分子泵在ITO镀膜生产线上的应用
ITO (Indium Tin Oxide;銦錫氧化物)结晶具有体心立方铁锰矿结构,是一种重掺杂、高简并的宽禁带型半导体材料,具有优良的导电性、可见光透过率以及红外反射率,而且还具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性。因此广泛应用于平板显示器(FPD)和太阳能电池。通常制备ITO薄膜的方法有溶胶凝胶法、磁控溅射法、脉总激光沉积和电子束蒸发等。

ITO 镀膜过程必须在干净清洁的真空系统中,上海伯东销售的德国普发 pfeiffer Hipace 涡轮分子泵清洁无油,最大极限真空度可达10-11mbar,转子速率可达90000rpm,广泛应用于此行业。
德国普发 pfeiffer 涡轮分子泵优点:

  • pfeiffer 分子泵坚固耐用的设计,实践验证的轴承系统提供了产品的最高可靠性
  • pfeiffer 分子泵结构紧凑,占用空间小
  • 高气流量,高抽速;集成,高效的冷却系统
  • pfeiffer 分子泵可以实现任意位置安装
  • 保护级别IP 54,非常适合工业领域应用的分子泵类型
  • 可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号
  • 半导体S2-和ul-认证
  • 完整的配件系列扩展了分子泵安装的各种可能性
  • 我们给您提供更长的分子泵维修间隔
  • 我们可以提供现场更换分子泵轴承
     

客户案例:
深圳某高科为全球最热门的苹果公司提供手机显示屏,pfeiffer分子泵因其优秀性能应用在某高科的ITO生产线中,伯东公司作为德国普发pfeiffer真空设备中国区销售公司,提供完善的售前,售后服务并得到客户一致的好评。

其他产品