HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列
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HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列

HVA 3位真空闸阀 21700 系列
上海伯东 HVA 3位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 3位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡. HVA 3位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式: 一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启, 另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置. 21700 系列3位真空闸阀广泛应用于低温泵, 涡轮分子泵, 及其他对清洁度要求高, 低除气的高真空行业.

HVA 3位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设, 遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 3位真空闸阀 21700 系列技术参数:

阀门材质:

阀门主体

304不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

驱动轴和驱动销

硬质不绣钢

阀门密封方式:

高真空

氟橡胶

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差压关闭

1 bar

真空:

压力范围

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

阀门主体

150 °c

驱动方式

气动 60 °c

使用寿命:100,000启闭次数

公称通径:DN100-320 mm


美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商
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