HVA 三位真空闸阀 21700 系列
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HVA 三位真空闸阀 21700 系列

美国 HVA 三位真空闸阀 21700 系列
HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时,提供异常压力控制功能,该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。21700 系列三位真空闸阀广泛应用于低温泵、涡轮分子泵、离子泵及其他对清洁度要求高、低除气的高真空行业。.
HVA 三位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设、遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 三位真空闸阀 21700 系列技术参数:

阀门材质:

阀门主体

304不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

驱动轴和驱动销

硬质不绣钢

阀门密封方式:

高真空

氟橡胶

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差压关闭

1 bar

真空:

压力范围

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

阀门主体

150 °c

驱动方式

气动 60 °c

使用寿命:100,000启闭次数

公称通径:DN100-320 mm


HVA 三位真空闸阀 21700 系列订货号及2D,3D展示图

DN

Model

KF/ISO-F

ISO-K

CF-F*

mm

inch

Number

3 (Bolted)

6 (Clamped)

0 or 4 (Conflat)

100

4.00

21712-040_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

160

6.00

21712-060_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

200

8.00

21712-080_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

250

10.00

21712-100_R

2D

3D

-

2D

3D

320

12.00

21712-120_R

2D

3D

-

2D

3D

 

HVA 三位真空闸阀 21700 系列部件图

美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商
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