HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列阅读数: 10964
![HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列](upload/11576137061.jpg)
HVA 3位真空闸阀 21700 系列
上海伯东 HVA 3位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 3位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡. HVA 3位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式: 一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启, 另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置. 21700 系列3位真空闸阀广泛应用于低温泵, 涡轮分子泵, 及其他对清洁度要求高, 低除气的高真空行业.
HVA 3位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设, 遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 3位真空闸阀 21700 系列技术参数:
阀门材质: |
|
阀门主体 |
304不锈钢 |
焊接波纹管轴封 |
AM-350 |
驱动轴和驱动销 |
硬质不绣钢 |
阀门密封方式: |
|
高真空 |
氟橡胶 |
漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
差压关闭 |
1 bar |
真空: |
|
压力范围 |
高真空1x10-9 mbar |
漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 |
1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
烘烤温度(不含电磁阀): |
|
阀门主体 |
150 °c |
驱动方式 |
气动 60 °c |
使用寿命:100,000启闭次数 |
|
公称通径:DN100-320 mm |
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀,高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
上海伯东版权所有,翻拷必究!
若您需要进一步的了解 HVA 插板阀详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有, 翻拷必究!