pfeiffer 氦质谱检漏仪

Thermonics 超低温冰水机, 可以匹配各种热交换液体媒介
提供18种标准机型, 适用于半导体前端和后端的应用
最高冷却功率 30 kW
温度范围:  -80 至 200 °C
风冷或水冷模式

温度范围

稳定性

最高冷却功率

泵流量 (GPM)

可选

-120 至 200 °C

± 0.5 °C

达到 30 kW

达到 10 GPM

变频驱动(VFD)

可编程流体压力和流体流量

自动填充

自动排水

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

2.5

2.5

2.3

2.1

0.6

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-85 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C(在额定负载)

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

3.5

3.5

3.2

2.9

1.8

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-85 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C(在额定负载)

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-80

kW

5.1

5.1

4.5

4.0

2.5

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-85 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C(在额定负载)

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

4.0

4.0

3.7

3.2

2.8

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-60 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C (在额定负载)

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

4.7

4.7

4.3

3.7

3.1

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-60 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C (在额定负载)

冷却能力

°C

+25

0

-20

-40

-60

kW

6.8

6.8

6.2

5.4

4.7

冷凝器

水冷

过程加热

1.7 kw

流体温度

-60 至 +50 °C

流体稳定性

±0.5 °C(在额定负载)