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涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD
脉冲激光沉积系统 PLD 可用来制备金属和各种物质薄膜, 甚至还用来制备一些难以合成的材料膜. 为了提高 PLD 系统的真空度和加快抽空时间, 经过伯东推荐选用分子泵+分子泵组串联组合的形式来提高系统的真空度. 更快达到其使用要求.
涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例一: 上海伯东某客户选用美国相干 Coherent 公司出产的 COMPexPro205 型 KrF 激光器, 用于原位生长不同材料的多层薄膜. 通过伯东推荐采购 2台涡轮分子泵组 Hicube 80 Eco
涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例二: 某大学采购铠柏科技 Adnano PLD 系统, 使用伯东 Pfeiffer 分子泵和涡轮分子泵组.
上海伯东德国 Pfeiffer HiCube 80 便携式分子泵组, 可以提供原有的真空度水平至半个数量级或加快抽空时间！
上海伯东 Pfeiffer 分子泵组 HiCube Eco 技术规格
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泵组型号 |
进气法兰 |
分子泵 |
抽速 |
极限真空 |
前级泵型号 |
前级泵 |
|
DN 40 ISO-KF |
HiPace 80 |
35 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
0.5 |
|
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DN 63 CF-F |
HiPace 80 |
67 |
1X10-8 |
MVP 015-2 |
1 |
|
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DN 63 ISO-K |
HiPace 80 |
67 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
1 |
Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 和高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.
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上海伯东: 叶女士 台湾伯东: 王女士
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