氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏
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氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏

上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏
上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业,近日成功采购6台氦质谱检漏仪 ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。
MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想!
上海伯东客户某大型 LED 生产企业 MOCVD 设备检漏实例:
MOCVD 需要检漏位置:所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏,主要检漏源供给、输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置)。
根据客户实际需要,MOCVD 检漏基本配置:氦质谱检漏仪 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下图所示:
伯东Pfeiffer MOCVD设备检漏

MOCVD设备检漏方法:采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340,确认连接完毕
2. 启动 ASM 340,进入待机界面;初次启动时间大约 3min,以后启动 < 1min
3. 按下开始键,先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 ACP 28抽真空,到达一定压力检漏仪 ASM 340开始工作,同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气;若有漏,检漏仪马上报警,显示该喷射点有漏。
4. 检测完毕,按下检漏仪待机键,放气、关闭电源,移除连接管路。
* 鉴于信息保密,更详细的MOCVD设备检漏方法欢迎致电 021-5046-3511

上海伯东代理 Pfeiffer 产品已有40余年,年营业额超过13亿美金,是国内第一家代理 Pfeiffer 真空产品的公司并在中国上海、台湾、日本、泰国等国家和地区设有维修据点。拥有 100% 原装进口维修设备和备品配件,提供快速维修服务。
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