KRi 考夫曼离子源

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产宽束离子源, 根据设计原理分为考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 和离子束抛光工艺 IBF 等领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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考夫曼离子源创始人 Dr. Harold Kaufman

1926 年在美国出生
1951 年加入美国 NASA 路易斯研究中心
1971 年考夫曼博士获得美国宇航局杰出服务奖
1978 年考夫曼博士成立了 Kaufman & Robinson,Inc 公司, 研发生产商用离子源
2016 年入选美国太空总署 Grenn 研究中心名人堂
2018 年1月逝世

射频离子源 RFICP 系列

射频离子源, 提供高能量, 低浓度的离子束, 单次工艺时间更长, 适合多层膜的制备和离子溅镀镀膜

型号

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

离子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

20 cm Φ

30 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

KRI 考夫曼离子源 KDC 系列

离子源通过加热灯丝产生离子束, 低浓度高能量宽束型离子源

型号

KDC 10

KDC 40

KDC 75

KDC 100

KDC 160

离子束流

>10 mA

>100 mA

>250 mA

>400 mA

>650 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

1 cm Φ

4 cm Φ

7.5 cm Φ

12 cm Φ

16 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

KRI 霍尔离子源 eH 系列

霍尔离子源无栅极, 高浓度, 低能量宽束型离子源

型号

eH 400

eH 1000

eH 2000

eH 3000

eH Linear

离子动能

50-300 V

50-300 V

50-300 V

50-250 V

50-300 V

离子束流

5A

10A

10A

20A

根据实际应用

散射角度

>45

>45

>45

>45

>45

射频离子源 RFICP 380

大口径射频离子源, 3层栅极设计, 栅极口径 30cm, 满足 300 mm (12英寸) 晶圆应用

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

RFICP 380

100-1200 V

>1500 mA

30 cm Φ

平行, 聚焦, 散射

射频离子源 RFICP 220

高能量栅极离子源, 适用于离子溅镀, 离子沉积和离子蚀刻. 满足 200 mm (8英寸) 晶圆应用

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

RFICP 220

100-1200 V

>1000 mA

22 cm Φ

平行,聚焦,散射

KRI 霍尔离子源 eH 400

低成本设计提供高离子电流, 霍尔离子源 eH 400 尺寸和离子能量特别适合中小型的真空系统

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

eH 400

50-300 V

5A

3.7”

> 45°散射

KRI 霍尔离子源 eH 1000

eH 1000 低成本设计提供高离子电流, 特别适合中型真空系统. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

eH 1000

100-300 V

10A

5.7”

> 45°散射

射频离子源 RFICP 140

紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

RFICP 140

100-1200 V

>600 mA

14 cm Φ

平行,聚焦,散射

KRI 考夫曼离子源 KDC 75

紧凑栅极离子源

型号

离子束动能

最大离子束流

栅极直径

离子束流形状

KDC 75

100-1200 V

>250 mA

7.5cm Φ

聚焦, 平行, 散射

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