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标准型分子泵组 Hicube Classic
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标准型分子泵组 Hicube Classic

Pfeiffer 标准型分子泵组 Hicube Classic
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 标准型涡轮分子泵组 Hicube Classic 系列. Hicube Classic 涡轮分子泵组适用于所有高真空和超高真空应用, 分子泵组抽速最大可达 685 l/s, 前级泵可搭配干式隔膜泵 MVP系列和旋片真空泵 DuoLine 系列. Hicube Classic 涡轮分子泵组型号包含: 分子泵组 HiCube 80 Classic, 分子泵组 HiCube 300 Classic, 分子泵组 HiCube 400 Classic和分子泵组 HiCube 700 Classic.

标准型分子泵组 Hicube Classic 优点
前级泵可选干式隔膜泵 MVP系列和旋片真空泵 DuoLine 系列
操作简易, 即插即用
多种搭配方案满足客户需求
意外断电时, 前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响
可以直接连接真空计

分子泵组 HiCube Classic 是一个立式紧凑型涡轮分子泵组, 非常适合中小型体积腔体的应用
结合涡轮分子泵 HiPace 300 H 或 HiPace 700 H 和前级泵, 可以实现 <10-10 hPa 的极限真空.
分子泵组 Hicube Classic


分子泵组 Hicube 80 Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 40 ISO-KF

35

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S20 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S20 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S20 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S20 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S20 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S20 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S20 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S20 390 00

Duo 6

5

-

PM S20 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S20 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S20 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S20 470 00

DN 63 ISO-K

67

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S21 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S21 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S21 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S21 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S21 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S21 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S21 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S21 390 00

Duo 6

5

-

PM S21 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S21 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S21 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S21 470 00

DN 63 CF-F

67

< 1 · 10-8

MVP 040

2.3

-

PM S22 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S22 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S22 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S22 310 00

< 5 · 10-10

Duo 3

2.5

-

PM S22 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S22 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S22 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S22 390 00

Duo 6

5

-

PM S22 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S22 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S22 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S22 470 00


分子泵组 Hicube 300 Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 100 ISO-K

260

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S23 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S23 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S23 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S23 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S23 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S23 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S23 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S23 390 00

Duo 6

5

-

PM S23 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S23 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S23 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S23 470 00

DN 100 CF-F

260

< 1X 10-8

MVP 040

2.3

-

PM S24 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S24 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S24 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S24 310 00

< 5X10-10

Duo 3

2.5

-

PM S24 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S24 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S24 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S24 390 00

Duo 6

5

-

PM S24 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S24 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S24 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S24 470 00


分子泵组 Hicube 300 H Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 100 ISO-K

260

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S32 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S32 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S32 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S32 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S32 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S32 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S32 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S32 390 00

Duo 6

5

-

PM S32 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S32 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S32 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S32 470 00

DN 100 CF-F

260

< 1X 10-10

MVP 040

2.3

-

PM S33 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S33 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S33 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S33 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S33 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S33 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S33 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S33 390 00

Duo 6

5

-

PM S33 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S33 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S33 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S33 470 00


分子泵组 Hicube 400 Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 100 ISO-K

260

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S25 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S25 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S25 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S25 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S25 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S25 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S25 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S25 390 00

Duo 6

5

-

PM S25 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S25 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S25 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S25 470 00

DN 100 CF-F

260

< 1X 10-8

MVP 040

2.3

-

PM S26 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S26 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S26 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S26 310 00

< 5X10-10

Duo 3

2.5

-

PM S26 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S26 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S26 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S26 390 00

Duo 6

5

-

PM S26 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S26 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S26 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S26 470 00


分子泵组 Hicube 700 Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 160 ISO-K

685

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S27 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S27 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S27 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S27 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S27 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S27 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S27 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S27 390 00

Duo 6

5

-

PM S27 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S27 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S27 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S27 470 00

DN 160 CF-F

685

< 1X 10-8

MVP 040

2.3

-

PM S28 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S28 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S28 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S28 310 00

< 5X10-10

Duo 3

2.5

-

PM S28 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S28 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S28 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S28 390 00

Duo 6

5

-

PM S28 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S28 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S28 460 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S28 470 00

 

分子泵组 Hicube 700 H Classic 技术参数

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

资料下载

DN 160 ISO-K

685

< 1X10-7

MVP 040

2.3

-

PM S36 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S36 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S36 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S36 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S36 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S36 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S36 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S36 390 00

Duo 6

5

-

PM S36 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S36 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S36 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S36 470 00

DN 160 CF-F

685

< 1X 10-10

MVP 040

2.3

-

PM S37 230 00

MVP 070

3.8

-

PM S37 250 00

MVP 040

2.3

TVV 001

PM S37 290 00

MVP 070

3.8

TVV 001

PM S37 310 00

Duo 3

2.5

-

PM S37 330 00

Duo 6 M

5

-

PM S37 350 00

Duo 3

2.5

AVC 016

PM S37 370 00

Duo 6 M

5

AVC 016

PM S37 390 00

Duo 6

5

-

PM S37 410 00

Duo 3 M

2.5

-

PM S37 430 00

Duo 6

5

AVC 016

PM S37 450 00

Duo 3 M

2.5

AVC 016

PM S37 470 00

 

标准型分子泵组 Hicube Classic 尺寸图
分子泵组Hicube 尺寸图


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