KRI 考夫曼离子源电源与控制器

1978 年 Dr.Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson,Inc 公司,研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless。美国考夫曼离子源历经 30 年改良及发展已取得多项专利。广泛用于离子清洗、离子蚀刻、辅助镀膜领域。上海伯东是美国考夫曼离子源(离子枪)中国总代理。

KRI 考夫曼离子源 Power Supply and Control

KRI 考夫曼离子源 Power Supply and Control

Model

离子源 AC Power

Controllers

DC Power

Controllers

RF Power

Controllers

Gas

Controllers

Automated System

Controllers

 

FC1000

DC150-x

RF1000

GC1000

AC1000

 

FC1006

DC300-x

RF1500

 

AC1000C

 

 

DC800-x

 

 

 

 

 

DC1000-x

 

 

 

 

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