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HVA 真空闸阀 真空插板阀 11000 系列
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HVA 真空闸阀 真空插板阀 11000 系列

美国 HVA 不锈钢高真空闸阀 超高真空插板阀 11000 系列
上海伯东美国 HVA 真空闸阀 真空插板阀 11000 系列满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA 真空闸阀 与前级泵  涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.

HVA 不锈钢高真空闸阀 真空插板阀 11000 系列产品特点
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm , 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
最高温度 250°C
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口

HVA 高真空闸阀 超真空插板阀 11000 系列技术参数

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 超高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前最大压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度(不含电磁阀):

 - 佛橡胶密封

 150 °c, 可选配置最大 250 °c

 - 铜垫圈密封

 阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

 - 气体

 80 psig (5.5 bar)

 - 电磁

 4.0 Watts

 - 供电

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm


美国 HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸(可选择的) , 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证最低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢真空闸阀提供了业界最小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性,效消除了虚漏和缺陷部分, 阀体变形. 阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用. 美国 HVA 真空闸阀 11000 系列可任意位置安装.

HVA 真空闸阀 真空插板阀应用案例一

上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 HVA 真空闸阀 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300涡轮分子泵 Hipace 80 成功分析生长晶体表面结构.
HVA 真空阀门

HVA 真空闸阀 真空插板阀应用案例二
美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用

 半导体管道插板阀应用示意图                                                                       现场图

真空插板阀
 

HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列组成:
HVA 11000 真空闸阀


美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商. 美国 HVA 原装进口真空阀门, 超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造. 主营高真空闸阀, 超高真空插板阀广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。

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