Pfeiffer 德国普发涡轮分子泵

Pfeiffer Vacuum 德国普发真空创立于 1890 年迄今已有 126 年的历史. 上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用。

涡轮分子泵 HiPace® 10-800

复合轴承涡轮分子泵,占用空间小,易于系统集成,分子泵易维护

型号

HiPace 10®

HiPace 30®

HiPace 60®

HiPace 80®

HiPace 300®

HiPace 400®

HiPace 700®

HiPace 800®

抽速 l/s

10

32

64

67

260

355

685

790

涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300

涡轮分子泵维护成本低,适合高粉尘制程

型号

HiPace® 1200

HiPace® 1500

HiPace® 1800

HiPace ®2300

抽速 l/s

1250

1400

1450

1900

涡轮分子泵 SplitFlow

分流式涡轮分子泵 特殊真空结构设计,满足客制化需求

分子泵型号

抽速 l/s

启动压强hPa

极限压力

启动时间

氮气

氦气

氢气

氮气

hPa

min

SplitFlow™ 50

53

27

21

20

< 4X10–7

1.3

磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M

五轴磁悬浮涡轮分子泵低震动,低磁场,分子泵寿命长

型号

HiPace 300 M

ATH 500 M

HiPace 700 M

HiPace 800 M

抽速 l/s

255

550

685

790

磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

磁悬浮涡轮分子泵 可任意角度安装,免维护

型号

ATH 1603

ATH 2303

ATH 2800

ATH 3200

ATP 2300

抽速 l/s

1400

2150

2200

2800

1950

涡轮分子泵 HiPace 10

世界上最小的涡轮分子泵, 抗振, 针对小腔体设计研发

型号

抽速 l/s, N2   

压缩比 , N2

预抽真空 hPa, N2

极限压力 hPa

HiPace® 10

10

3X106

25

 < 5X10–5

涡轮分子泵 HiPace 30

高气体吞吐量和高压缩比使其成为同类涡轮分子泵中的明星产品

型号

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强hPa

极限压力 hPa

HiPace 30

32

1X1011

24

 < 1X10–7

涡轮分子泵 HiPace 60P

 耐粉尘设计涡轮分子泵

分子泵型号

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强hPa

极限压力 hPa

HiPace 60 P

64

1X106

4

 < 1X10–7

 

涡轮分子泵 HiPace 80

热销款高性能涡轮分子泵

分子泵型号

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强 hPa

极限压力 hPa

HiPace 80

67

> 1X1011

22

 < 1X10–7

涡轮分子泵 HiPace 300 H

对小分子量气体超高的压缩比,目前市场上同级别型号最高压缩比的分子泵

分子泵型号

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强 hPa

极限压力 hPa

HiPace 300 H

260 N2
255 He
220 H2
255 Ar

> 1X1013  N2
2.5 X109 He
1X107   H2
> 1X1013 Ar

30 N2
28 He
15 H2
15 Ar

< 1X10–7
< 1X10–10
< 1X10–7

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