Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机,利用低温冷媒(-100度)通过盘管,将水蒸气吸附在冷盘上,快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业,客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵,产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用,可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵,罗茨泵,干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold  MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款!~

Polycold 冷冻机应用
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点:
低温范围:-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力,从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2,Polycold 冷冻机选用无毒、环保型冷媒,可循环使用
低功率,低能耗,最大负载 4000 W

Polycold MaxCool 冷冻机组成
上海伯东 Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机

A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数:

标准性能

最大负载:Watts

4000

抽水汽效率(理论值):l/s

327,800

保守抽速:l/s

220,000

极限真空:mbar

7 x 10-8

启动压力:atm

1

除霜时间:分钟

5.5

低温盘管,连接管路

盘管表面面积:m2

2.2

单管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m


16
43

双管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m


16
21.9

标准外部连接管长度:m

2.44

配套设施

冷却水流量:rate l/min.
13 C˚
26 C˚

29 C˚


13.6
27.3
54.1

功率 kW

19.2

工作噪音(最大):db

78

占地空间(最小):m3

34

重量:kg

533

 

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率:

上海伯东 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

美国 Brooks 旗下 Polycold  冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区唯一指定总代理,全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。

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