真空镀膜机加装 Polycold 冷冻机
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真空镀膜机加装 Polycold 冷冻机

真空镀膜机加装 Polycold
真空镀膜机(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量。真空镀膜设备通过加装上海伯东代理的美国 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵)在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%,Polycold 冷冻机目前已广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。

上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。与高温烘烤方法对比,高温烘烤只是把水分子从基片表面迁移,使基片减少对水蒸气的吸附,但是水蒸气还是存在于腔体内,依然影响抽气效率。Polycold 冷冻机是将 90% 以上的水分子吸附在低温盘管(Cryocoil)的表面,同时吸附掉真空腔内部分油分子,如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱,不仅能吸抽水汽还可以防止扩散泵返油。
上海伯东Polycold Maxcool4000

目前在售 Polycold 型号:

型号

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

PFC-552 HC

PFC-672 HC

PFC-1102 HC *

最大负载 Watts

4,000

2,500

1,000

1,500

3,600

抽水汽效率 l/s

220,000

140,000

50,000

70,000

200,000

极限真空 mbar

7 x 10-8

1 x 10-9

3x10-9

8x10-9

4x10-8

* Polycold PFC-1102 HC 已经停产,替代型号 MaxCool 4000 H

美国 Brooks 旗下 Polycold  冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区唯一指定总代理,全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。

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