普发氦质谱检漏仪

OmniGrade 定制残余气体分析系统
上海伯东德国 Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制残余气体分析系统, 用于复杂残余气体测量, 进行纯度测试. OmniGrade 在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率. 避免由于分子污染导致的影响, 达到更高水平的清洁度. OmniGrade 的上市, 扩展了德国 Pfeifffer 残余气体分析的产品组合, 提供更高水平的价值创造, 从而增加客户的利益.

OmniGrade 残余气体分析应用领域
半导体生产中的 EUV 光刻
电子显微镜
超高真空 UHV 中的应用

OmniGrade 残余气体分析系统基于模块化原理, 可满足各种测试要求
上海伯东德国 Pfeiffer 根据每个测试要求提供量身定制的分析系统, 满足客户所需精度的测试结果. 残余分析系统采用全系列的德国 Pfeiffer 产品, 比如四极杆质谱仪, 真空泵, 腔室和其他组件.

四极杆质谱仪 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的选择和腔室数量的确定对可实现的检测限有显著影响. 在标准系统中有两个腔室, 一个放置测试样品, 另一个放置光谱仪. 如果需要, 该结构可以补充第三个腔室. 即闸室. 这避免了测量腔室受到环境污染并显著减少了表面积. 通过烘烤系统, 可以对其进行调节, 从而进一步提高测量能力.

OmniGrade 残余气体分析系统配置

	三腔室系统	二腔室系统
参考图片
分析目的	低放气率小零件的分析	中型零件测试
最大腔室尺寸	DN 160/250	750 x 750 x 750 mm
测量设计	With Load Lock	Without Load Lock
分子泵	全磁浮或者复合轴承	全磁浮或者复合轴承
质谱分析仪	HiQuador 或PrismaPro	HiQuador 或PrismaPro
密封闸阀	金属	金属或氟橡胶
校准	手动或自动
洁净室兼容	可选
温度控制系统	主动或被动

OmniGrade 残余气体分析系统特点
使用模块化系统根据您的需求定制执行
检测限低
全自动测量过程
根据 ASML的清洁度等级 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试

OmniGrade 采用了节能组件和先进技术设计, 以减少浪费和排放. 它有助于优化检查纯度的流程, 从而减少客户生产中的浪费并更有效地利用资源.

上海伯东累计多年真空经验, 提供各类定制真空系统, 例如氦质谱检漏系统, 真空计校准系统, 残余气体分析系统等, 满足半导体, 工业, 科研各个领域的需求.

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