镀膜机

Pfeiffer Vacuum 德国普发真空创立于 1890 年迄今已有 126 年的历史. 上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

镀膜机

 镀膜机-灵活设计适合技术研究、开发和生产,可实现高真空蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,离子镀.镀膜机(高真空镀膜系统)经过大量实验和技术知识积累研发设计.主要应用领域: 半导体,光学,微电子学,显示屏,光电工程,表面处理等行业.

镀膜机 Classic 250

镀膜机 Classic 250 技术参数

真空腔体

 

容量

35 l

内部尺寸

290 mm

高度

470 mm

Door Opening

W x H 290 x 470 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<1x10-6 mbar

 

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 500

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 500 技术参数

真空腔体

 

容量

150 l

内部尺寸

500 mm

高度

575 mm

Door Opening

W x H 500 x 575 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<5x10-7 mbar

 

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 570

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 570 技术参数

真空腔体

 

容量

310 l

内部尺寸

740 mm

高度

680 mm

Door Opening

W x H 550 x 680 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<5x10-7 mbar

 

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 580 PLC

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 580 技术参数

真空腔体

 

容量

400 l

内部尺寸

740 mm

高度

915 mm

Door Opening

W x H 550 x 915 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<5x10-7 mbar

 

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 590

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 590 技术参数

真空腔体

 

容量

820 l

内部尺寸

900 mm

高度

1100 mm

Door Opening

W x H 900 x 1100 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<5x10-7 mbar

 

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 620

pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 620 技术参数

真空腔体

 

容量

1300 l

内部尺寸

1200 mm

高度

1100 mm

Door Opening

W x H 1200 x 1100 mm

整机漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最终压力

<5x10-7 mbar

 

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