涡轮分子泵 HiPace 2800 IT
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涡轮分子泵 HiPace 2800 IT

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯东德国 Pfeiffer 新推出离子注入系统专用涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款涡轮分子泵精巧的转子设计保证小分子气体绝佳的抽速, 确保了针对离子注入工艺的最佳工艺适应性, 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.

涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够最佳地适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.

涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 产品优势
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长

涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 技术参数

法兰(进气端)

DN 250 ISO-F

法兰(出气端)

DN 40 ISO-KF

排气连接

G 1/8“

氮气抽速

2,300 l/s

氩气抽速

2,100 l/s

氦气抽速

2,900 l/s

氢气抽速

2,600 l/s

转速

±2 % 27,300 rpm

运行时间

8.6 min

在全转速情况下的氮气气流量

16 hPa l/s

在全转速情况下的氩气气流量

11 hPa l/s

在全转速情况下的氢气气流量

50 hPa l/s

在全转速情况下的氦气气流量

24 hPa l/s

氮气压缩比

> 1X108

氩气压缩比

> 1X108

氦气压缩比

6X104

氢气压缩比

4X103

氮气最大前级真空

0.8 hPa

根据 PNEUROP 的极限压力

< 1X10-7 hPa

重量

62 kg

冷却方法

冷却水耗量

100 l/h

冷却水温度

15 – 25 °C

接口

E74, RS-485

最大允许磁场

3.4 mT

声压水平

< 50 dB(A)


涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 适用领域: 离子注入机, 苛刻工艺

涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
涡轮分子泵 HiPace 2800
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型号

型号

订货号

HiPace 2800 IT

PM P05 241

HiPace 2800 IUT

PM P05 246


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