Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
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Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺气体分析质谱 SPM 220 专为镀膜工艺过程中的气体监测设计研发,在高达 10-2 hPa 的压力下,精确到分钟的定性和定量分析工艺气体。
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计,易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

SPM 系统控制

BRU 220

电压

115-230 V

前级泵

MVP 020-3

四极控制

QME 220

带 SPM 离子源的分析仪

QMA 220

探测器

C-SEM/Faraday

杆系统:材料

不锈钢

杆系统:直径

6 mm 

杆系统:长度

100 mm 

检测极限(氩中):二氧化碳

< 100 ppb

检测极限(氩中):氧气

< 100 ppb

检测极限(氩中):氮

< 100 ppb

检测极限(氩中):水

< 3000 ppb

检测极限(氩中):水蒸气

< 500 ppb or < 6000 ppb

涡轮分子泵

带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

质量数

 

1-100 amu or 1-200 amu

过程压力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

连接法兰(入口)

DN 40 CF-F

重量

13 kg 

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
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