上海 Pfeiffer 普发质谱分析仪
上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年, 协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务. 推荐 Pfeiffer 普发真空产品: 涡轮分子泵, 氦质谱检漏仪, 质谱分析仪, 真空测量, 干式涡旋泵等. Pfeiffer Vacuum 德国普发真空创立于 1890 年迄今已有 130余年的历史.
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德国普发 Pfeiffer 质谱分析仪, 可定性定量分析气体的组成和含量, 内置 QuadstarTM 软件, Pfeiffer 普发质谱分析仪可与热重, 吸附仪, 催化剂评价装置联用, 同时测试 128 种气体组份. 检测极限 < 100 ppb
在线质谱分析仪 OmniStar® / ThermoStar®
Pfeiffer 全新一代高效在线质谱分析仪, 在压力范围高达 1,000 hPa 下的气体分析仪
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型号 |
OmniStar |
ThermoStar |
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质量数范围 amu |
1–100 / 1–200 / 1–300 |
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进样管 |
不锈钢毛细管 |
石英毛细管 |
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气体流速 sccm |
1–2 |
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最低检测限 C-SEM |
< 100 ppb |
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残余气体分析仪 PrismaPro
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高真空中的残余气体分析仪 PrismaPro |
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残余气体分析仪 Hicube RGA
四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的完美搭配
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型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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质量数范围 amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
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对临近质量数的影响 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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10 % 峰值高度的解析度 |
0.5 – 2.5 u |
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高精度气体分析仪 HiQuad® Neo
可作为独立设备集成在系统中, 适用于科研和各类分析系统.
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质量数 u |
1-300 |
1-512 *3 |
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检测极限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
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Ar 灵敏度,最低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
高压质谱分析仪 HPA 220
在压力范围高达 50hPa 下的质谱分析仪
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质量数（可选） |
1-100 amu |
1-200 amu |
1-300 amu |
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质谱分析仪 |
QMA 220 |
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检测 |
C-SEM/Faraday |
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C-SEM 最小检测极限 |
1X10-14 hPa |
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Faraday 最小检测极限 |
5X10-12 hPa |
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定制残余气体分析系统 OmniGrade
上海伯东德国 Pfeiffer OmniGrade 定制残余气体分析系统, 适用于半导体生产中的 EUV 光刻, 电子显微镜, 超高真空 UHV 中的应用. OmniGrade 在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率. 避免由于分子污染导致的影响, 达到更高水平的清洁度.
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
在压力范围高达 10 hPa 下的气体分析仪, 在 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析
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质量数（可选）amu |
1-100 or 1-200 |
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质谱分析仪 |
QMA 220 |
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检测 |
C-SEM/Faraday |
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过程压力至（可选） |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
在线质谱分析仪热催化分析
质谱分析仪客户案例: 在线质谱分析仪 Omnistar 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 在催化反应装置尾气段接入质谱, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.
在线质谱分析仪催化剂吸附分析检测
质谱分析仪客户案例: 在线质谱分析仪 Omnistar 与吸附仪联用进行催化剂吸附分析检测,可研究催化剂的 NH3-TPD,TPR,TPO 等反应, 通过在线质谱分析仪对吸附后的微量产物做更加清晰的定性和定量分析, 明确反应的机理和反应过程.