上海 Pfeiffer Vacuum 普发真空
Pfeiffer Vacuum 德国普发真空创立于 1890 年迄今已有 130余年的历史. 上海伯东 Pfeiffer 普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年, 协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务. 推荐 Pfeiffer 普发产品: 涡轮分子泵, 氦质谱检漏仪, 质谱分析仪, 真空测量, 干式涡旋泵等
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残余气体分析仪 PrismaPro
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高真空中的残余气体分析仪 PrismaPro |
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残余气体分析仪 Hicube RGA
四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的完美搭配
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型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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质量数范围 amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
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对临近质量数的影响 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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10 % 峰值高度的解析度 |
0.5 – 2.5 u |
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高精度气体分析仪 HiQuad™
压力范围高达 10-4 hPa, 可实现最高达 125μs / amu 的极高测量速度
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质量数 amu |
1-128 |
1-300 |
1-512 |
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最低检测限 mbar |
5X10-16 |
2X10-15 |
1X10-15 |
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Ar 灵敏度,最低 *1) A/mbar |
1X10-3 |
2X10-4 |
5X10-4 |
高压质谱分析仪 HPA 220
在压力范围高达 50hPa 下的质谱分析仪
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质量数（可选） |
1-100 amu |
1-200 amu |
1-300 amu |
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|---|---|---|---|---|---|---|
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质谱分析仪 |
QMA 220 |
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检测 |
C-SEM/Faraday |
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C-SEM 最小检测极限 |
1X10-14 hPa |
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Faraday 最小检测极限 |
5X10-12 hPa |
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定制残余气体分析系统 OmniGrade
上海伯东德国 Pfeiffer OmniGrade 定制残余气体分析系统, 适用于半导体生产中的 EUV 光刻, 电子显微镜, 超高真空 UHV 中的应用. OmniGrade 在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率. 避免由于分子污染导致的影响, 达到更高水平的清洁度.
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
在压力范围高达 10 hPa 下的气体分析仪, 在 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析
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质量数（可选）amu |
1-100 or 1-200 |
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质谱分析仪 |
QMA 220 |
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检测 |
C-SEM/Faraday |
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过程压力至（可选） |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
真空阀
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Pressure range |
Leak tightness |
Centering |
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|---|---|---|---|---|---|
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ISO-KF |
Aluminium |
10-7 |
2.5 |
10-8 |
inside |
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Stainless steel |
10-8 |
2.5 |
10-9 |
inside |
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ISO-K |
Stainless steel |
10-8 |
2.5 |
10-9 |
inside |
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CF |
Stainless steel |
10-12 |
1 |
10-9 |
- |
真空零部件
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Material |
Nominal diameter |
A |
B |
C |
D |
|---|---|---|---|---|---|
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Aluminium/Steel,Zinc plate |
DN 10-16 ISO-KF |
43 |
62 |
16 |
22 |
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Aluminium/Steel,Zinc plate |
DN 20-25 ISO-KF |
55 |
72 |
16 |
32 |
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Aluminium/Steel,Zinc plate |
DN 32-40 ISO-KF |
70 |
90 |
17 |
47 |
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Aluminium/Steel,Zinc plate |
DN 50 ISO-KF |
93 |
123 |
24 |
62 |
在线质谱分析仪热催化分析
质谱分析仪客户案例: 在线质谱分析仪 Omnistar 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 在催化反应装置尾气段接入质谱, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.
