普发氦质谱检漏仪

ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器离子注入应用
上海伯东代理德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器, 基于旋转转子压力表技术, 长期稳定 < 每年 1 % 的漂移, 高精度 1 %, 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.

Dositorr SRG 高真空传感器在离子注入工艺中的技术优势
无漂移: 意味着稳定的可重复真空读数
SRG 旋转转子压力表技术的磁悬浮传感器: 免维护
耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感
耐磁场, 振动, 高压和高温环境
查看实际压力读数, 放气等
与真空无相互作用: 超洁净
真空区无馈通: 全电磁
可更换, 可清洗的传感器, 减少停机时间, 降低维护成本
查看真实的压力读数, 放气等

Dositorr SRG 高真空传感器可以替代离子注入工艺中的 ion source 离子规



上图是 Implant process 离子注入工艺中的评估比较
离子规 (红色) 和 Dositorr SRG 高真空传感器（绿色）压力读数比较. 红色箭头指向离子规的更换. 

Dositorr SRG 高真空传感器技术规格

测量原理	旋转转子压力表
测量范围	7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; 0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 %
长期稳定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	不锈钢
安装方式	水平
模拟接口	USB Type C, 蓝牙, 15pin
数字接口	USB, 蓝牙, RS 232, RS 485
反应时间（快速模式）	1 秒

若您需要进一步的了解 ph-instruments  Dositorr SRG 高真空传感器, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101             T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
上海伯东版权所有, 翻拷必究！