普发氦质谱检漏仪

ph-instruments SRG 旋转转子真空规与离子规对比
上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 旋转转子真空计与离子规对比, SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）, 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统.


SRG 旋转转子真空规与离子规对比

类型	SRG 旋转转子真空规	离子规
精度	1% 读数	约 20% 读数
量程	10 mbar 至 5x10-7mbar	1x10-3mbar 至 1x10-10mbar
加热真空腔体	机械测量, 无影响	离子规会发热,导致加热真空腔体
电离真空	机械测量, 无影响	离子规会出现离子逃逸,污染真空腔体
读数随时间漂移	<1% 每年, 无需校准	漂移显著,需要定期校准
机械稳定性	稳定	不稳定
吸气泵	无	有限的
脱气	无	有限的
温度影响	少	高
超洁净	材质不锈钢, 耐腐蚀	材质多为复合材料, 灯丝容易被污染,因此不耐腐蚀
对气体类型的依赖	少	高
沉积	可以忽略不计	高
对振动的敏感	是	否
使用寿命	长(使用数年)	短(几个月)

上海伯东 ph-instruments  SRG 旋转转子真空规主要优势

更宽的测量范围: (1000) 100 至 5x10^-7mbar 满足不同应用
可靠性和准确性: +/- 1% 的读数精度, 更强的旋转频率 615Hz
长期稳定性（每年<1.5%漂移）: 更强的磁场 90mT, 更好的屏蔽材料 ST37
机械稳定性: 更坚固的机械设计, 全金属固定
兼容性和灵活性:多种法兰接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析诊断功能, 易于设置和控制,支持数据存储, 24VDC 和电池供电

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