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磁悬浮涡轮分子泵 ATH 500 M
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M,对氮气的抽速最高可达 550 l/s,紧凑集成的全磁浮涡轮分子泵控制器。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承,免维护,无需润滑,保证全磁浮涡轮分子泵内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性,在高速运转过程中无摩擦,无磨损,低噪音低振动,可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 多种配置可选 满足不同需要:
1.两种接口:DN 100/160
2.三种密封方式:ISO-F、ISO-K、CF-F
3.两种冷却方式:风冷、水冷
4.另有可远程控制和可加热款(抗腐蚀MT)供客户选择
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 技术参数:
轴承 |
五轴控制全磁浮轴承 |
转速 |
50000 min-1 |
对氮气的压缩比 |
> 2 · 107 |
最大进气压力N2 |
2.6 hPa |
对氮气的抽速 |
350 l/s--550 l/s |
启动时间 |
< 2 min |
极限真空度 |
< 1 · 10-8 hPa |
重量 |
17 kg-18kg |
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 对不同气体的抽速:
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 尺寸图:
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 目前在售型号:
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-K,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-K,遥控,水冷
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