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俄歇电子能谱仪 AES

上海伯东代理 ULVAC-PHI 爱发科费恩斯超高真空表面分析仪器, 包含光电子能谱仪 ( XPS ) ,俄歇电子能谱仪 (AES), 飞行时间二次离子质谱仪 (Tof-SIMS) 和动态二次离子质谱仪 (D-SIMS ), 应用领域涵盖纳米技术, 太阳能技术, 微电子技术, 存储介质, 催化, 生物材料, 药品以及金属, 矿物, 聚合物, 复合材料和涂料等基础材料, 满足科学研究, 失效分析, 产品质量检测等需要.
ULVAC-PHI 超高真空表面分析仪

俄歇电子能谱仪 AES 不仅能通过从样品表面激发出二次电子以观察表面形貌, 还能通过探测俄歇电子进行表面成分分析和深度分析.

俄歇电子能谱仪 PHI 710

俄歇电子能谱仪 PHI 710 产品详细资料

俄歇电子能谱仪 PHI 710 适用于半导体器件, 微电子器件和材料科学等研究
SEM 像空间分辨率 ≤3 nm,  AES 成分像空间分辨率 ≦8nm.

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