普发氦质谱检漏仪

X 射线光电子能谱仪 PHI GENESIS 500
上海伯东代理 ULVAC-PHI 爱发科费恩斯全自动化多功能扫描微聚焦 X 射线光电子能谱仪 PHI GENESIS 500, 适用于电池, 半导体,光伏, 新能源, 有机器件, 纳米颗粒, 催化剂, 金属材料, 聚合物, 陶瓷等固体材料及器件领域.

光电子能谱仪 PHI GENESIS 500 特点: 为电池, 半导体, 有机器件以及其他各领域提供全面解决方案
既可常规高通量测试，又可微区高性能测试
易操作式多功能选配附件
全自动样品传送停放
高性能大面积和微区 XPS 分析
快速精准深度剖析: 上海伯东 PHI GENESIS 500 可实现高性能的深度剖析. 聚焦 X 射线源, 高灵敏度探测器, 高性能氩离子枪和高效双束中和系统可实现全自动深度剖析, 包括在同一个溅射刻蚀坑内进行多点同时分析

光电子能谱仪 PHI GENESIS 500 应用场景
上海伯东代理的光电子能谱仪 XPS 适用于科学研究和高科技产业等领域, 包括材料科学, 能源科学, 半导体器件, 微电子器件以及表面处理和表面异常检测等.

用于全固态电池, 半导体, 光伏, 催化剂等领域的先进功能材料都是复杂的多组分材料, 其研发依赖于化学结构到性能的不断优化. 上海伯东代理全新表面分析仪器“PHI GENESIS” 全自动多功能扫描聚焦 X射线光电子能谱仪, 具有卓越性能, 高自动化和灵活的扩展能力, 可以满足客户的所有分析需求

电池
" LiPON/LiCoO₂ 横截面的 pA-AES Li 化学成像”
Li 基材料例如LiPON, 对电子束辐照敏感.
PHI GENESIS 500 提供的高灵敏度能量分析器可以在低束流（300pA）下快速获取AES 化学成像。

什么是光电子能谱仪 XPS

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy),又称 ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis),是利用 X射线入射样品表面, 探测样品表面出射的光电子,来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法. XPS 可对元素成分进行定性定量分析,同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力.

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