VIM-2 高精度移动式真空传感器
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VIM-2 高精度移动式真空传感器

ph-instruments VIM-2 高精度耐腐蚀真空传感器
上海伯东代理德国 ph-instruments VIM-2 高精度移动式真空传感器, 采用 SRG 旋转转子量规技术.
在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 长期稳定, 不受温度的影响. ph-instruments VIM-2 真空规内置锂电池, 防止突然断电, 方便携带.

ph-instruments VIM-2 高精度真空传感器优势
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量: 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %
长期稳定, 不受温度的影响
内置锂电池, 防止因突然断电导致的损坏
方便携带
多种通讯方式, 可以软件连线
真空规一体成型
 ph-instruments VIM-2 高精度移动式真空传感器, 采用 SRG 旋转转子量规技术

ph-instruments VIM-2 高精度真空传感器技术规格

测量原理

旋转转子压力表

测量范围

7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)

精度

7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %;
0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 %

长期稳定性

< 每年 1 % 的漂移

接液材料管/球

1.4404, 1.4034

安装方式

水平

模拟接口

USB Type C、蓝牙、15pin

数字接口

USB、蓝牙、RS 232、RS 485

远程控制

Win 7/10

工作温度

电子元件 10 °C 至 40 °C
测量头 10 °C 至 50 °C
传感器管可烘烤至 150 °C 弹性体密封,450 °C 金属密封

电源要求

18 ~28 VDC

模拟输出

0 - 10 VDC 可配置

法兰类型

KF 25, 8 VCR, 焊接


ph-instruments VIM-2 高精度真空传感器应用
半导体: 离子注入 (替代离子规), 离子刻蚀 IBE, CVD, PVD, 在不打开真空室的情况下进行故障排除和安全检查
低温真空绝缘: 液化气体存储或者运输, 真空绝缘监测, 所有导电真空绝缘应用
真空计校准系统

若您需要进一步的了解 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 请参考以下联络方式
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